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哪家剝離液配方技術

來源: 發布時間:2025-05-02

    常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導體集成電路等工藝制造過程中,需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進一步用剝離液將涂覆在微電路保護區域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產工藝主要包含光阻涂布、顯影、去光阻、相關清洗作業四大階段,其中在去光阻階段會產生部分剝離液。印制電路板生產工藝相當復雜。不僅設備和制造工藝的科技含量高,工藝流程長,用水量大,而且所用的化學藥品(包括各種添加劑)種類多、用量大。因此,在用減成法生產印刷線路板的過程中,產污環節多,種類繁雜,物料損耗大。可分為干法加工(設計和布線、模版制作、鉆孔、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內層板黑膜氧化、去孔壁樹脂膩污、沉銅、電鍍、顯影、蝕刻、脫膜、絲印、熱風整平等)過程。其中在脫模(剝膜)工序為了脫除廢舊電路板表面殘留焊錫,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩定劑,苯并三氮唑為銅的緩蝕劑進行操作,整個工序中會產生大量的剝離液,有機溶劑成分較大。 友達光電用的哪家的剝離液?哪家剝離液配方技術

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本發明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規制度的問題,而避免其使用。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術實現要素:發明要解決的問題因此,本發明的課題在于,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術。用于解決問題的手段本發明人等為了解決上述課題而深入研究的結果發現,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,從而完成本發明。即,本發明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。深圳京東方用的蝕刻液剝離液主要作用剝離液的成分分類有哪幾種;

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    避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風:良好的通風措施,保持良好通風人員保護設備:橡膠手套、防護目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學性能物理測試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點:165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機溶劑PH值:10.穩定性與活性穩定性:穩定危險反應:有機和無機酸、強氧化劑、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。

所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,所述收卷驅動電機與所述膠面收卷輥通過導線連接。進一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應器通過導線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導線連接。進一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進一步的,所述干燥度感應器與所述電氣控制箱通過導線連接。進一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結構通過導線連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結構通過導線連接。本技術的有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠對印刷品膠面進行回收,節約了大量材料,降低了生產成本。剝離液的類別一般有哪些。

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    但現有的回收裝置普遍存在如下問題:剝離廢液利用水洗裝置水洗過濾出光刻膠樹脂成分,回收率低。為了解決這一問題,現有技術通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續反應,而后沉淀過濾出光刻膠樹脂成分,但所得到的光刻膠樹脂成分品質不宜再用于光刻膠原料,只能用于其他要求較低的樹脂需求場所。技術實現要素:本實用新型的目的是為了提供一種結構設置更為合理、使用方便可靠的光刻膠廢剝離液回收裝置,從根本上解決現有回收裝置回收率低的問題,同時分級回收輸出線性酚醛樹脂成分,分級儲存,以用于不同場合,物盡其用。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜和與攪拌釜連通的過濾罐,攪拌釜頂部設有廢剝離液投料口,其技術要點是:所述過濾罐的數量為兩個,由一級過濾罐和二級過濾罐組成,所述一級過濾罐和二級過濾罐在垂直方向上位于攪拌釜下方,一級過濾罐和二級過濾罐的進料管路分別與攪拌釜底部連通,且進料管路上分別設有電磁閥,所述一級過濾罐的底部出液口連接有提升泵,所述提升泵的出料管路末端與攪拌釜頂部的循環料口連通,所述攪拌釜頂部另設有功能切換口。剝離液可以有正膠和負膠以及正負膠不同的分類。嘉興BOE蝕刻液剝離液聯系方式

銅剝離液的配方是什么?哪家剝離液配方技術

    本發明提供的光刻膠剝離去除方法第二實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積一層二氧化硅薄膜作為介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執行離子注入,離子注入劑量范圍為1×1013cm-2~1×1016cm-2。s4,采用氮氫混合氣體執行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離,氫氮混合比例范圍為4:96~30:70。s5,對襯底表面進行清洗,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過氧化氨混合物溶液。本發明提供的光刻膠剝離去除方法第三實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積一層二氧化硅薄膜作為介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執行離子注入,離子注入劑量范圍為1×1013cm-2~1×1016cm-2。s4,采用氮氫混合氣體執行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離,氫氮混合比例范圍為4:96~30:70。s5,對硅片執行單片排序清洗,清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過氧化硫磺混合物溶液。哪家剝離液配方技術