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本發明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現不均勻的現象，體現于在蝕刻前后...

TG242432-013LBT022QCME101BT022QVME102BT022QVME602BT022QCME103BT022QCME104BTL221722-276LBTG221722-003L-1BT022QCMQ101BT022QVMG003BT021LCME101BT020QVME101BT018QQME101BTL181216-296LBV015Z1E-NB0BV015Z2E-NB0BT015SQMM001240RGB204深圳市精通科技有限公司ShenzhenProficienttechnologylimited聯系電話：Contactphone:公司網址：Websi...

本發明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現不均勻的現象，體現于在蝕刻前后...

conunanormaeuropeaENoconunarecomendaciónCEIparaalgunosdelosmodosdeprotecciónsiguientes:1.oInmersiónenaceite?o?.2.oSobrepresióninterna?p?.3.oRellenopulverulento?q?.4.oEnvolventeantideflagrante?d?.5.oSeguridadaumentada?e?.6.oSeguridadintrínseca?i?.7.oEncapsulado?m?.orespaldadosporcertificadosdecon...

óíasdeplásticoflexiblenorequerirándeunrecubrimientoadicionaldebarreraanticorrosivaoprotecciones,íasdeplásticoflexibleesnecesarioquecumplanlossiguientesrequisitos:a)Resistenciaquímicainternayexternaaproductospetrolíferos,)Resistenciamecánicaalapresióíáóneléóndeáóndeáreasserárealizadasegúnelproced...

delascualesunasirveparaelaccesoydebequedarlibredecualquiertuberíánaunadistanciamínimade50milímetrosdecualquierunióóónytransportesedeberáóndelosdepóánlascondicionesindicadasenlosapartados,,óánecesarialaejecucióndeuncubetoestancocontubobuzodetectordefugasparaalojarlosdepóánsuperaralasdelosdepóósit...

sedispondrándispositivosdecorteporintensidaddedefecto,medianteinterruptoresdiferenciales,consensibilidadmáóncontraelectricidadestática,deberárealizarseunauniónequipotencialdemasas,ánestarconectadasaestared,tanquesdealmacenamiento,tuberías,estructurasmetálicas,aparatossurtidores,asícomolosconduct...

deacuerdoconlasindicacionesdelfabricantedelatuberíóásticorefozadonorequerirándeunrecubrimientoadicionaldebarreraanticorrosiva,pueslaestructurapropiadetalmaterialdeberácontener,talcomodefinelanormaUNE53-361,barrerainternayexternaanticorrosiva,íasserán:controldimensionalyvisual,óndelosensayosseaju...

moldeoporcompresiónoporcualquierotroprocedimientoqueofrezcacaracterísticastéámetrointeriordelavirolayelradiodelreborde,nodebeserinferioral10por100deldiá)Ovalización:Pordefinición,laovalizaciónesladiferenciaentreeldiámetrorealverticalantesydespuésdeenterrar,cuandoeldepósitoseencuentravacío,dividi...

可通過蒸發或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點或的蒸氣壓來實施共沸型化合物的確定。在工業應用的情況下使用共沸物是特別有利的，以使組合物再生，例如當其飽和有污染物的時候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物，而沒有各組分的任何分餾。而且，2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優點。因此，半纖維素多糖是含有5個碳原子的基于糖的聚合物。當在硫酸的存在下加熱半纖維素時，得到戊糖(含有5個碳原子的糖)，例如木糖。當進行木糖的熱脫水時，該木糖轉化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外，根據本發明的一些組合物是不可燃的(根據ASTMD3828標準，閉杯閃點高...

siendoobligatorioelusodeacoplamientoscompatiblesconlamangueradelcamióncisternaylabocadecargadelosdepóápidasserándematerialesquenopuedanproducirchispasenelchoqueconotrosmaterialesyseajustaránaloespecificadoenlanormaDIN(partes1a5).Dispondrándesistemadecierreherméticoaladesconexióóánidentificadasme...

本實用新型屬于廢液處理領域，尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統。背景技術：酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內層制作的蝕刻液，隨著電路板行業的迅速發展，產生的廢液量越來越大，發掘的污染物種類也越來越多，對環境造成巨大的危害，此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發生，我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學或電化學的方法，但傳統的方法廢液中總銅的含量不斷增大，比重增加，必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數，這樣污染大，影響環境，而且還會造成銅和酸的浪費。技術實現要素：本實用新型所要解決的技術問題為如何通過簡單...

本實用新型屬于廢液處理領域，尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統。背景技術：酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內層制作的蝕刻液，隨著電路板行業的迅速發展，產生的廢液量越來越大，發掘的污染物種類也越來越多，對環境造成巨大的危害，此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發生，我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學或電化學的方法，但傳統的方法廢液中總銅的含量不斷增大，比重增加，必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數，這樣污染大，影響環境，而且還會造成銅和酸的浪費。技術實現要素：本實用新型所要解決的技術問題為如何通過簡單...

JUANMANUELEGUIAGARAYUCELAYANEXO1InstrucciónTécnicaComplementariaMI-IP04INSTALACIONESFIJASPARADISTRIBUCIóNALPORMENORDECARBURANTESYCOMBUSTIBLESPETROLíFEROSENINSTALACIONESDEVENTAALPúBLICOCAPITULOIIntroduccióónTécnicatieneporobjetoestablecerlasprescripcionestécnicasalasquehandeajustarselasinstalacio...

ósitosapareddecubetoserácomomínimode50centímetrosyentretanquesserááóóónexteriordelosdepósitosseestudiarádeformaespecialenloscasosdeexistenciadeaguasselenitosas,corrosivasuotroselementosagresivosenlazonaadyacentealenterramientoycomomínimo,enmedionoagresivo,elrevestimientodeberá:1.oTenerunespesorm...

35kilogramos/centímetrocuadrado).IgualmenteserealizaráunapruebademedicióndieléáncertificadasporunOrganismodecontrolcompetentedebidamenteacreditado..DepósitodepláóónTécnicaComplementariaseentiendepordepósitosdeplásticoreforzadoaquellosdepósitoscilíndricos,deejecuciónhorizontalenplásticoreforzado,...

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?O?.Elinteriordeestaarquetasseclasificazona?O?debidoasusituaciónbajoelniveldesueloyportenerpuntosdeescapes,bienporladescargadecisternas,bienporlaoperaciónnormaldemedicióndetanquesomantenimientodelainstalació(zona?O?)seprocuraránoinstalarningúnequipoeléándeacuerdoporloquerespectaamaterialesycanal...

50WXQ-100BT050WVAE101BTL504885-W705LBA050WV4-601BF050FWME501BTL504885-W708LBF050WVQ-100BT050FWQ-N80BTL507212-W677LBTL507212-W742LBF050QHE-400BS050HDG-N40-6C00BF050WVM-500BF050FHME101BF050WVE-400BV050HDS-T40BV050HDE-N40BTL505496-W692LBTL507212-W747LBS050HDE-N41-6Q00BV050HDE-N44BF050HDQ-100BF050HD

ósitoyelfondodelfosoolasuperficiedecementodebecolocarseunespesormínimode30centíínimo30centímetrosmásqueloslímitesdeldepóánecesarialainstalacióáánanclarselosdepósitoscuandolasposiblesfuentesdeagua(nivelfreático,aguadelluvia,etc.)áósitosensualojamientosesometeránauncontrol,paracomprobarquenohansuf...

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previadeliberacióndelConsejodeMinistrosensureunióndeldía28dediciembrede1995,DISPONGO:ArtículoúónTécnicaComplementariaMI-IP04?Instalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico?,delReglamentodeInstalacionesPetrolíferas,aprobadoporReal...

sedispondrándeanillosderefuerzoennúánenelinteriordelasvirolasalasqueestánfijadosporsoldaduraenángulodiscontinua,concosturasalternadassobrelosdosladosdelalma,conunainterrupciónenlageneratrizinferiorparadarpasoallíquido,áncubrirnitotalniparcialmentelassoldaduras,ánconarcoeléctricoyserealizaráétodo...

deacuerdoconlascantidadesindicadasenelapartadodelanormaUNE20-322.)ípicasaconsiderarson:1.oIsletasdedistribució.o.oLocalesoedificiosdeservicio,conalmacenajedelubricantes.)Influenciadelaventilacióónafectarádeformadirectaaltipoy/oextensióáíndicedeventilación(renovaciones/horas)elevadodetalformaquee...

o2085/1994,alaentradaenvigordelaInstrucciónTécnicaComplementariaMI-IP04quedaránderogadastotaloparcialmente,lasdisposicionesdeigualoinferiorrangoalpresenteRealDecretoenloqueseoponganalmismo,yexpresamentelassiguientes:(?GacetadeMadrid?de28deenerode1936)queapruebaelReglamentoaquesehandesometerlasin...

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LaLey21/1992,de16dejulio,deIndustria,se?ala,enelapartado5delartículo12,que?losReglamentosdeSeguridadIndustrialdeámbitoestatalseaprobaránporelGobiernodelaNación,sinperjuiciodequelasComunidadesAutónomas,concompetencialegislativasobreindustria,puedanintroducirrequisitosadicionalessobrelasmismasmate...

lapruebadepresiónhidráánresistentesaloshidrocarburosyalosaditivosquepuedanconteneryaseguraráónserándeunmaterialqueresistalacorrosiónypermitasufácilsustitucióóósitossemontarándosorejetasdeizadodeformasimétricaenrelaciónconelcentrodegravedaddelosdepósitosvacíánrecortadasdeunachapadecalidadigualala...

所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權利要求14中任一項的組合物，特征在于，所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權利要求5的組合物，特征在于，所述組合物包含515重量％的甲基四氫呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物，其包含8重量％的甲基四氫呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚，并且在大氣壓()下具有°C的沸點。8.權利要求5的組合物，特征在于，所述組合物包含1040重量％的甲基四氫呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物，其包含％的甲基四氫呋喃和％的九氟丁基乙基醚，并且在大氣壓()下具有°C的沸點。10.制冷劑，特征在于，其包含前述...