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來源: 發布時間:2023-11-21

    本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環過濾,備用。質量好的蝕刻液的公司聯系方式。上海天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑

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引線框架的腐蝕是如何生產的呢?引線框架的材料主要是電子銅帶,常見在引線框架中通過亮鎳、錫和錫鉛鍍層下進行鍍鎳完成保護金屬材料的目的,在材質過程中42合金引線相對來說容易發生應力-腐蝕引發的裂紋。為了保障引線框架的優異的導電性和散熱性,處理方式通過電鍍銀、片式電鍍線,將引線和基島表面作特殊處理,這樣能夠保障焊線和引線框架的良好焊接性能。引線框架電鍍銀蝕刻工藝流程主要分:上料-電解除油-活化-預鍍銅-預鍍銀-局部鍍銀-退銀-防銀膠擴散-防銅變色-烘干-收料。通過該蝕刻工藝流程能夠保障引線框架蝕刻過程中電鍍層的厚度、光亮度、粗糙度、潔凈度等。因此,蝕刻引線框架對工藝和工廠的管理需要嚴格控制。 上海天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑哪家公司的蝕刻液的口碑比較好?

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    制備裝置主體1的內部中間部位活動連接有高效攪拌裝置2,制備裝置主體1的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內部底部固定連接有成品罐6,裝置底座5的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐7,裝置底座5的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內部頂部中間部位活動連接有旋轉搖勻轉盤12,高效攪拌裝置2的內部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運轉電機組13,運轉電機組13的頂端電性連接有控制面板15,高效攪拌裝置2的內部中間部位固定連接有致密防腐桿16,致密防腐桿16的內部內側貫穿連接有攪動孔17,鹽酸裝罐7的內部一側嵌入連接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定連接有負壓引流器21,負壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內部內側固定連接有注入量觀察刻度線19,注入量控制容器18的一側嵌入連接有限流銷20。推薦的,翻折觀察板4的內部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪401,觀察窗翻折滾輪401的底端活動連接有內嵌觀察窗402,該裝置在進行制備時,具有一定的危險性,工作人員無法直接對其內部的運行狀況進行很好的實時查看,通過設置內嵌觀察窗402。

    可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環電解蝕刻液的作用;裝置主體1左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵19,抽氣泵19下方設置有集氣箱21,集氣箱21與抽氣泵19之間連接有排氣管20,電解池4下端連接有二號排液管22,二號排液管22內部上端設置有二號電磁閥23,裝置主體1內部底端靠近左側設置有傾斜板24,裝置主體1前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板25,分隔板2右端放置有蓄水箱26,蓄水箱26上端靠近右側連接有進水管27,回流管15下端連接有抽水管28,抽水管28內部上端設置有三號電磁閥29,裝置主體1前端表面靠近右側安裝有控制面板30,傾斜板24的傾斜角度設計為10°,活動板25前端設置有握把,活動板25與裝置主體1之間設置有鉸鏈,且活動板25通過鉸鏈活動安裝在裝置主體1前端,控制面板30的輸出端分別與增壓泵16、一號電磁閥18、二號電磁閥23和三號電磁閥29的輸入端呈電性連接,通過設置有集氣箱21與蓄水箱26,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵19,將電解池4中產生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現有害氣體的清理,接著啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將蓄水箱26中的清水通過抽水管28抽入到進液管8中。ITO蝕刻液的配方是什么?

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可用于銀鎳合金、銀銅合金以及純銀的蝕刻,蝕刻后板面平整光滑。劑對油墨沒有影響,可用于花紋蝕刻處理。三、使用方法:1、原液使用,不須加水,操作溫度可以是25℃-60℃,溫度越高,速度越快。2、將銀板浸泡在銀蝕刻劑中。用軟毛刷來回輕輕刷動,使藥水與銀充分均勻反應;或者也可以用搖床,使藥水來回動運,使板蝕刻速度加快。但不能超聲波,以免破壞(感光)油墨。參考數據:50℃→5分鐘→0.1毫米深度。30℃→20分鐘→0.1毫米深度。3、水洗后做后續處理。使用蝕刻液需要什么條件。安慶京東方用的蝕刻液蝕刻液訂做價格

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    并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50,該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部,且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對該基板20進行一濕式蝕刻制程;由上述的說明,擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程,故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免該基板20的蝕刻不均的現象產生。該輸送裝置30設置于該基板20的下方,該輸送裝置30包括有至少一滾輪31,其中該滾輪31與該基板20接觸以運行該基板20;在本實用新型其一較佳實施例中,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,故該輸送裝置30具有一驅動機構(圖式未標示)以驅動該滾輪31轉動,例如:順時針旋轉。上海天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑