真空機中真空處理設備技術方案【產品定位】

本設備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發的專業真空處理系統，適用于半導體、精密電子、航空航天等領域的復雜結構工件處理。

【功能】

1.真空置換系統：采用旋片式真空泵組，可在60秒內將工作腔壓力降至10mbar以下，通過動態真空置換技術實現盲孔內空氣的高效抽離

2.智能補液系統：配備流量閉環控制系統，可根據工件孔徑自動調節藥液填充速率，確保微孔填充率≥99.8%

3.工藝可視化：配置5.7英寸工業級觸控屏，實時顯示真空度、液位高度、處理時間等關鍵參數

【技術優勢】

1.采用304不銹鋼內膽+高硼硅玻璃視窗組合，耐酸堿腐蝕且便于觀察

2.可調式硅橡膠密封條配合氣壓補償裝置，確保真空度穩定維持在±0.5mbar

3.模塊化設計支持單工位/雙工位/多工位擴展，處理效率提升40%以上

【應用價值】

通過建立可控的負壓環境，有效解決盲孔類工件因氣穴導致的漏鍍、膜厚不均等問題，使鍍層均勻性提升至±5μm以內，降低不良品率。設備符合ISO9001質量管理體系及CE安全認證，已成功應用于100+客戶的量產線，平均提升良品率25%，降低生產成本18%。 設備搭載智能故障診斷系統，可提前預警真空泵組異常，保障 24 小時連續穩定運行。重慶真空機盲孔產品解決方案

志成達研發的真空機，真空除油 —— 針對微孔產品清潔

在深孔盲孔電鍍前處理中，真空除油技術成為關鍵突破口。傳統超聲波清洗難以觸及 0.1mm 以下微孔內部的頑固油污，而真空除油設備通過 - 0.1MPa 負壓環境，強制排出孔內空氣并形成局部湍流，配合高溫除油劑滲透，3 秒內 99% 以上的油漬。某航空部件制造商實測顯示，經真空除油的鈦合金深孔（深徑比 8:1）清潔度提升 90%，后續電鍍漏鍍率從 18% 降至 3%。設備集成動態壓力波動功能，可針對不同孔徑自動調節真空強度，實現全尺寸覆蓋。 節能真空機工藝優化方案盲孔內壁油污在真空狀態下沸點降低，配合溶劑實現高效汽化分離，清潔精度可達 Ra0.01μm。

真空除油設備中，負壓除油的流程：

1.抽真空階段

將工件放入真空罐，啟動真空泵使罐內壓力降至設定值（通常-0.08~-0.1MPa）。持續抽氣1~3分鐘，排出盲孔內空氣。

2.液體浸泡與沸騰

注入脫脂劑或溶劑，在負壓下液體迅速沸騰，產生微氣泡沖刷盲孔內壁。浸泡時間根據油污類型調整（通常3~5分鐘）。

3.循環漂洗

排出污液后，注入清水或中和液，再次抽真空使液體滲透并排出。可重復2~3次，確保殘留洗凈。4.干燥階段保持真空狀態，通過熱輻射或熱風（60~80℃）快速蒸發殘留液體。恢復常壓后取出工件。

志成達研發的真空機，是盲孔加工技術的突破瓶頸

在精密制造領域，盲孔結構因其獨特的空間約束特性，成為衡量加工精度的重要指標。傳統機械鉆孔工藝在0.3mm以下孔徑時，易產生毛刺、孔壁不規整等問題。隨著半導體封裝、微型傳感器等領域的需求升級，負壓輔助加工技術的引入，使盲孔加工精度提升至±5μm以內，有效解決了深徑比超過10:1的技術難題。

負壓環境的物理作用

機制在真空負壓環境下（10^-3Pa量級），材料去除過程產生的熱量可通過分子熱傳導快速消散。研究表明，該環境下刀具磨損速率降低40%，加工表面粗糙度Ra值從0.8μm優化至0.2μm。負壓氣流還能實時切削碎屑，避免二次污染，特別適用于生物醫學植入體等潔凈度要求嚴苛的場景。 創新真空蒸餾回收系統，使清洗劑循環利用率達 95%，大幅降低企業處理成本。

真空除油設備負壓技術的工作流程

該技術通過六階段閉環系統實現高效除油：

1.預處理：工件置于可旋轉支架，采用氮氣密封艙體至10?3Pa級氣密性。

2.抽真空：多級泵組3-5分鐘內將壓力降至100Pa，主泵進一步達10?1Pa以下，同步預加熱至30-80℃。

3.負壓蒸發：紅外加熱結合循環氣流，礦物油在0.09MPa下沸點降至80℃，薄油膜5-10分鐘完成蒸發。

4.冷凝回收：-20℃半導體制冷片實現99%油蒸氣回收，分離凈化后循環使用。

5.干燥破空：真空干燥至-40℃，充入-60℃氮氣并設氣流屏障防污染。

6.后處理：激光測厚檢測油膜厚度，集成MES系統自動匹配參數，預測性維護周期超5000小時。 微孔內殘留的 PDMS 脫模劑需用等離子體處理徹底分解去除。安徽高壓脈沖真空機

未來真空除油技術將向智能化、集成化方向發展，結合 AI 視覺檢測實現全流程閉環質量管控。重慶真空機盲孔產品解決方案

真空除油設備工作原理詳解

真空除油技術在于通過壓力-溫度耦合調控實現高效清潔，其工作流程可分解為四個精密控制階段：

1.真空環境構建

設備采用多級羅茨泵組+旋片泵復合真空系統，30秒內將腔體壓力降至0.1kPa（相當于海拔30公里高空的氣壓）。

2.低溫沸騰溶解在-90kPa真空度下，特制環保溶劑（如碳氫系D40）的沸點從140℃驟降至45℃。這種"亞臨界沸騰"狀態產生的微氣泡直徑為超聲波清洗的1/50，能深入0.01mm的微小縫隙。

3.動態循環強化雙泵體驅動的紊流循環系統使溶劑以8m/s流速沖刷工件表面，配合360°旋轉夾具，實現復雜曲面的均勻清洗。系統集成在線濃度監測儀，當溶劑污染度超過閾值時，自動觸發真空蒸餾再生系統，回收率達98.7%。

4.分子級干燥真空環境下采用紅外輻射+熱氣流吹掃組合干燥技術，利用水蒸氣分壓梯度差加速水分蒸發。 重慶真空機盲孔產品解決方案