新巴頓（上海）軸承銷售有限公司2025-06-10

我們始終以科學嚴謹?shù)膽B(tài)度對待軸承在腐蝕性氣體環(huán)境中的耐蝕性能設計。以下從材料體系、表面工程、密封技術及應用驗證四個維度，客觀闡述我司軸承的耐蝕特性： 一、耐腐蝕材料體系的科學構建 針對半導體刻蝕、化工等典型腐蝕性氣體環(huán)境（如 HCl、Cl?、NF?等），巴頓軸承構建了多層次材料解決方案： 基礎材質選擇 不銹鋼系列：采用真空熔煉的 17-4PH 沉淀硬化不銹鋼（耐蝕性優(yōu)于 316L）和 AISI 440C 馬氏體不銹鋼（含鉻量 17-19%），其在 5% NaCl 鹽霧測試中腐蝕速率≤0.05mm/a（ISO 12944 標準 1 級完全耐蝕）。例如，VCMP 系列軸承在模擬 HCl 氣體環(huán)境（濃度 10ppm，溫度 80℃）中連續(xù)運行 1000 小時后，表面未出現(xiàn)點蝕或氧化跡象。 陶瓷材料：氮化硅（Si?N?）陶瓷軸承的化學惰性明顯優(yōu)于金屬，在含氟等離子體環(huán)境中，其腐蝕速率比鋼制軸承降低 90% 以上。VCMP-210 型號采用全陶瓷結構，已通過 SEMI F47-0706 標準的酸性氣體兼容性測試。 高分子材料集成 保持架采用聚醚醚酮（PEEK）或聚四氟乙烯（PTFE），其耐酸堿性優(yōu)于傳統(tǒng)尼龍材料。例如，VCL-1005 型號的 PTFE 保持架在 pH=2 的鹽酸溶液中浸泡 72 小時后，質量損失率＜0.1%。 密封件選用全氟醚橡膠（FFKM），可耐受 - 200℃至 327℃的極端溫度，并對 Cl?、SO?等氣體具有優(yōu)異的化學穩(wěn)定性。 二、表面工程技術的深度應用 耐腐蝕涂層體系 DLC 類金剛石涂層：厚度 2-3μm 的 DLC 涂層硬度達 2000HV 以上，在模擬 Cl?氣體環(huán)境中，其摩擦系數(shù)比未涂層軸承降低 40%，且涂層附著力＞50N（ASTM D3359 標準）。 MoS?固體潤滑涂層：在真空泵軸承中，MoS?涂層可在無油環(huán)境下提供自潤滑，同時在含硫氣體中形成鈍化膜，抑制腐蝕反應。 鈍化與鍍膜工藝 軸承表面經鈍化處理后，在 3% H?SO?溶液中的腐蝕電流密度從 1.2μA/cm2 降至 0.3μA/cm2（ASTM G59 標準）。部分型號還采用離子鍍鎳技術，鍍層厚度控制在 5-10μm，鹽霧測試壽命延長至 1000 小時以上。

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