隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是普遍的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。沃德氣體愿和各界朋友真誠合作一同開拓。青海無油干式真空泵銷售
真空泵機組啟動前要注意什么?真空泵機組啟動前要注意什么?對于真空泵機組來講,它在進行啟動之前,肯定的就是要做啟動準備的。就其真空泵機組的步的啟動的準備的話也就是要把真空泵閥門進行試驗,檢查它的開關是不是靈活,確定其信號指示上是不是正確;接著也就是要對真空泵A、以及真空泵B,還有就是羅茨泵C等的電機進行正反轉試驗。我們在對真空泵機組進行啟動之前,如果發現其泵內有污物的情況存在的話,我們也就是可以暫時的打開其排水管道,來進行排污沖洗;接著,對于其泵組軸承的話,我們也就是要注潤滑油,然后就是要檢查其各冷卻水管,確認其密封水管是不是暢通,如果水管內有污物的話,我們其實也就是需要直接的進行沖洗。就其真空泵機組啟動來講的話,我們其實也就是應該注意,在我們進行啟動之前的話,也就是應該先用手轉動其泵輪數周,這樣的話也就是可以確認其泵內沒有卡住或者是其它損壞現象之后,才可以進行啟動,在我們進行起動之前,也應該根據其泵上的旋轉箭頭方向,來確認其電動機的一個轉向。接著,我們就要直接的把真空泵機組的進氣管路上的閘閥進行打開,然后的話也就是要打開其管路的一個閘閥;下一步的話,也就是要啟動其真空泵A以及真空泵B。四川羅茨干式真空泵沃德氣體用先進的生產工藝和規范的質量管理,打造優良的產品!
干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備,兩螺桿經精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無磨擦,運轉平穩,噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節能,免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。
高速運行穩定性差,所以這種類型用于小型泵。臥式泵在進氣口,排氣口在下。有時真空系統管道安裝連接方便,可以從排氣的水平方向排出,即排氣方向相互垂直。此時,排氣口除了排氣管的另一端還是旁通閥外,還可以從左右方向打開排氣口。該泵結構具有低重心和高速穩定性。一般大中型泵使用這種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構易于控制裝配間隙,易于安裝轉子,泵面積小。但是泵的重心是高的和齒輪的拆裝,潤滑機構也比較復雜。(2)泵送模式真空泵的兩個轉子由一對高精度齒輪操作,用于相對同步運行。驅動軸通過聯軸器連接到電機。在傳輸結構布局中主要有以下兩個:一個是電機和齒輪在同一側的轉子上,如圖所示。從動轉子由電機端齒輪直接驅動,使主動轉子軸的扭轉變形小,由于主軸反向變形,兩個轉子之間的間隙不會發生變化,從而使轉子之間的間隙操作均勻。這種傳播的比較大缺點是:驅動軸上有三個軸承,這增加了加工和組裝泵的難度。齒輪的拆卸和調整是不方便的。整體結構不對稱,泵的重心偏向電機和齒輪箱側。干式真空泵的功能特點:在較寬的壓力范圍內具有較大的泵送速度;轉子具有良好的幾何對稱性,因此振動小,運行平穩。轉子與轉子和殼體之間有間隙。沃德氣體以誠信為根本,以質量服務求生存。
無潤滑,摩擦損失小,能降低驅動功率,可實現高速運轉;泵室無油封和潤滑,可減少真空系統上的油蒸氣污染;泵室無壓縮,無排氣閥。結構簡單,結構緊湊,對抽氣中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,氫提取效果差;轉子表面為圓形曲線更復雜的形狀,加工和檢查更加困難。干式螺桿真空泵優點和缺點:伴隨著在我國工業的發展趨勢,對清理真空環境的規定愈來愈**式螺桿真空泵由于具有抽速范圍寬、結構簡單、無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優點,越來越受到制造和應用單位的重視。干式螺桿真空泵選用一對螺桿,具備高精密轉子動平衡作用,按滾子軸承支撐架,安裝在泵體上,螺桿中間和一定空隙中間,因而干式螺桿真空泵在工作中房間內不容易造成磨擦,干式螺桿真空泵可消化吸收蒸氣,機械泵較高。是在我國運用的磁力泵關鍵靠進口,很貴了。干式螺桿真空泵,它應用一對螺絲在防水套管內同歩轉速比反方向轉動并造成吸附力。順著油封式真空泵的優點填補了不夠,我們稱作更新油封式真空泵。而干式螺桿真空泵的成本費都是其存在的不足。下文介紹了其優缺點:干式螺桿真空泵具備在工作中腔和擠出機螺桿電機轉子表面耐腐蝕鍍層的優勢,可以融入泵內的非縮小壞汽體。沃德氣體始終以適應和促進工業發展為宗旨。四川羅茨干式真空泵
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重新裝配的真空泵應進行幾個小時的運轉試驗,以觀察是否達到使用要求)真空泵的結構特點真空泵的結構:(1)真空泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。真空泵臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。真空泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。(2)真空泵的傳動方式真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變。青海無油干式真空泵銷售
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