數(shù)據(jù)可視化與便捷管理是設(shè)備亮點。設(shè)備自動生成數(shù)據(jù)曲線,如同設(shè)備運行 “心電圖”,便于客戶隨時查看設(shè)備運行狀態(tài)。數(shù)據(jù)自動保存,可隨時以表格的形式導(dǎo)出,方便客戶進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和處理。運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄,查詢一目了然,讓客戶對設(shè)備狀態(tài)了如指掌。設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架,大型設(shè)備可現(xiàn)場組裝,靈活便捷,減少運輸壓力,方便不同環(huán)境使用運行。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),美觀大方,可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色,滿足客戶的個性化需求。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性極強(qiáng),8 小時內(nèi)可達(dá)±0.5%。陜西恒溫恒濕設(shè)備成本
刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料,從而雕琢出精細(xì)的電路結(jié)構(gòu)。在這一精細(xì)操作過程中,溫度的波動都會如同“蝴蝶效應(yīng)”般,干擾刻蝕速率的均勻性。當(dāng)溫度不穩(wěn)定時,硅片不同部位在相同時間內(nèi)所經(jīng)歷的刻蝕程度將參差不齊,有的地方刻蝕過度,有的地方刻蝕不足,直接破壞芯片的電路完整性,嚴(yán)重影響芯片性能。濕度方面,一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況,刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),生成一些難以預(yù)料的雜質(zhì)。這些雜質(zhì)可能會附著在芯片表面,或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結(jié)構(gòu)中,給芯片質(zhì)量埋下深深的隱患,后續(xù)即便經(jīng)過多道清洗工序,也難以徹底根除這些隱患帶來的負(fù)面影響。光刻機(jī)恒溫恒濕智能系統(tǒng)擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力,可達(dá)百級以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
在化學(xué)、材料、制藥、微生物、細(xì)胞等實驗室科研中,精密環(huán)控柜為各類實驗提供了穩(wěn)定的環(huán)境條件,是科研工作順利開展的重要支撐。在化學(xué)實驗中,一些化學(xué)反應(yīng)對溫度極為敏感,0.1℃的溫度偏差都可能改變反應(yīng)速率和產(chǎn)物純度。精密環(huán)控柜的高精密溫度控制,確保實驗溫度穩(wěn)定,為化學(xué)反應(yīng)提供理想條件,保證實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。材料研究中,材料的性能測試需要嚴(yán)格控制環(huán)境溫濕度。例如,對新型半導(dǎo)體材料的性能檢測,環(huán)境濕度的變化可能影響材料的電學(xué)性能。精密環(huán)控柜的溫濕度控制,為材料性能測試提供穩(wěn)定環(huán)境,助力科研人員準(zhǔn)確評估材料性能。
精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來,已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù),獲得了眾多好評。高精密環(huán)控設(shè)備可移動,容易維護(hù)和擴(kuò)展。
在計量校準(zhǔn)實驗室中,高精度的電子天平用于精確稱量微小質(zhì)量差異,對環(huán)境溫濕度要求極高。若溫度突然升高 2℃,天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹,傳感器的靈敏度隨之改變,原本能測量到微克級別的質(zhì)量變化,此時卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差,導(dǎo)致測量結(jié)果失準(zhǔn)。濕度方面,當(dāng)濕度上升至 70% 以上,空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤及內(nèi)部精密機(jī)械結(jié)構(gòu)上,增加了額外的重量,使得測量數(shù)據(jù)偏大,無法反映被測量物體的真實質(zhì)量,進(jìn)而影響科研實驗數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度。主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成。矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀恒溫恒濕采購
精密環(huán)控設(shè)備為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。陜西恒溫恒濕設(shè)備成本
我司憑借深厚的技術(shù)積累,自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級、十級、一級。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK(靜態(tài))的溫度穩(wěn)定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目,打造了近乎完美的溫場環(huán)境,保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時,設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,長達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,確保實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。陜西恒溫恒濕設(shè)備成本