在航天器電子元器件的制造和裝配過程中，精密環控柜的作用同樣關鍵。電子元器件對靜電、潔凈度以及溫濕度都十分敏感。靜電可能會擊穿電子元件，導致其損壞；而不合適的溫濕度條件會影響電子元件的性能和可靠性。精密環控柜通過配備高效的靜電消除裝置以及精確的溫濕度控制系統，為電子元器件的生產提供了一個穩定、潔凈且無靜電干擾的環境。這不僅保證了電子元器件在制造過程中的質量，也提高了其在航天器復雜空間環境下的穩定性和可靠性，為我國航空航天事業的蓬勃發展奠定了堅實基礎。擁有超高水準潔凈度控制能力，可達百級以上潔凈標準。山東恒溫恒濕實驗室

精密環控柜主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環，控制系統對循環氣流的每個環節進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統可實現潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩定的實驗室環境以及監測服務，獲得了眾多好評。甘肅恒溫恒濕設備金額精密環境控制設備憑借超高精度溫度控制，保障內部溫度水平均勻性小于 16mK/m。

電池芯片制造工藝的復雜性與精細度與日俱增，對生產環境的潔凈度和濕度控制提出了極其嚴苛的要求。濕度一旦超出允許范圍，哪怕有細微波動，都極有可能致使電池芯片內部的電路結構發生短路現象，或者嚴重影響芯片的整體性能，大幅降低其充放電效率與使用壽命。精密環控柜憑借其技術實力，實現了對濕度的調控，將濕度穩定性牢牢控制在極小的區間內。同時，其配備的空氣過濾系統，能夠高效攔截空氣中的各類塵埃、顆粒及微生物，確保生產環境達到超高潔凈度標準。針對新能源電子領域千變萬化的特殊生產工藝需求，精密環控柜還能提供定制化服務，從內部布局到各項環境參數的設定，都能滿足該領域獨特的環境要求。

精密環控柜能夠實現如此性能，背后蘊含著先進而復雜的原理。在溫度控制方面，自主研發的高精密控溫技術是關鍵所在。通過高精度傳感器實時監測柜內溫度，將數據反饋至控制系統。控制系統依據預設的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調節制冷（熱）系統的運行功率。例如，當溫度高于設定值時，制冷系統迅速啟動，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標范圍；反之，加熱系統則及時介入。對于濕度控制，利用先進的濕度調節裝置，通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據傳感器反饋的濕度數據，將設備內部濕度穩定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過濾器，通過物理攔截、靜電吸附等原理，對進入柜內的空氣進行深度過濾，確保可實現百級以上潔凈度控制，工作區潔凈度優于 ISO class3 。精密環境控制設備內部，關鍵區域靜態下溫度穩定性高，可達 +/-5mK 精度。

在集成電路制造這一高精密的領域中，芯片生產線上的光刻工序堪稱關鍵的環節，其對溫濕度的要求近乎達到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動，都可能引發嚴重后果。光刻機內部的光學鏡片會因熱脹冷縮，致使光路發生細微偏移。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴重受損，使得芯片上的電路布線出現偏差，甚至短路等問題，進而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面，一旦濕度突破 50% 的警戒線，光刻膠便極易受潮，其感光度發生改變，導致曝光效果大打折扣，無疑同樣對芯片質量產生不可忽視的負面影響。設備運行穩定性高，可連續穩定工作時間大于144h。精密測量恒溫恒濕穩定性

該系統可實現潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃。山東恒溫恒濕實驗室

芯片蝕刻時，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應”，可能引發刻蝕過度或不足。精密環控柜穩定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩定性，有效避免因環境因素導致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質量。芯片沉積與封裝過程中，精密環控柜的超高水準潔凈度控制發揮關鍵作用。其可實現百級以上潔凈度控制，內部潔凈度優于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。山東恒溫恒濕實驗室