潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、現(xiàn)代技術(shù)密切聯(lián)系在一起。湖北電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜,潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處,并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。6嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)值得推薦溫濕度波動(dòng)范圍的控制對(duì)于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。
潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過(guò)濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過(guò)濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無(wú)灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無(wú)靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動(dòng)力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時(shí)穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。
(1)凈化處理原則:能用局部?jī)艋膱?chǎng)合,就盡可能不用凈化;或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間,這樣做雖然有利于控制污染,但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便,以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的,較為典型的三區(qū)不均勻分布模型,即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段,上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō),潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬(wàn)級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下),測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下,可以看出,各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然,其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒(méi)有較好調(diào)節(jié)的原因,但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處***懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好
采用智能化管理系統(tǒng),提高潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)的管理效率。湖北電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來(lái)沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得湖北電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)