17.3.4在系統和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉檢查，并應確認運轉正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態或靜態條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統正常聯合試運轉，并不應少于8h。系統中各項設備部件和自動控制環節聯動運轉應協調，動作正確，無異常現象。17.3.4在系統和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉檢查，并應確認運轉正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態或靜態條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統正常聯合試運轉，并不應少于8h。系統中各項設備部件和自動控制環節聯動運轉應協調，動作正確，無異常現象。將產品生產過程與操作人員、污染物進行嚴格分隔的隔離空間。浙江無塵室檢測

無塵車間工程主要包括無塵車間設計、施工和運行管理前后相關的三個環節。質量源于設計，設計是**。而凈化工程的施工又區別于一般的建筑工程，包括圍護結構(俗稱“房中房”)；空調凈化系統；供電、自控、弱電系統；純水、特氣、物料供應系統；廢氣、廢水處理系統及相關設施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓，設備維護，以保證受控的生產科研環境持續符合要求。三個環節涵蓋了空態、靜態、動態三個占有狀態；環境受控又融合了風險評估、生產認證的概念和程序；加之潔凈技術跨行業、跨專業、跨學科的特點：使之無塵車間工程的難度和復雜性增加。因此對于無塵車間工程行業來說，優化設計、現場施工環境的協調與管控、工程相關技術細節的經驗積累，對客戶需求的理解和實現，以及對設計變更的準備和響應程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標。上海半導體凈化車間無塵室檢測目的室內空氣的流動形態和分布。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室（區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。潔凈室(區)已處于正常生產狀態,設備在指定的方式下進行,并且有人員按照規范操作。

6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作：1配管下料時應采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應與管軸線垂直，切口表面應平整、無裂紋，應去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應按相關規定方法進行脫脂，脫脂應在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環境保護工作。指潔凈室內離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區域。上海半導體凈化車間無塵室檢測目的

高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。浙江無塵室檢測

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應有提示標志。11.3.7當空調設備內表冷器設在負壓段時，地面應設不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調設備內加濕器的安裝應設**支吊架，不得在空調機組壁板上開設固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機組壁板間應做好絕熱、密封處理。浙江無塵室檢測