10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。安徽潔凈工作臺潔凈室檢測服務商

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。浙江實驗室環境潔凈室檢測服務減少渦流，避免把工作區以外的污染物帶入工作區。

4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產聯系密切，必須置于潔凈區內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內現有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態噪聲主要來源于凈化空調系統和局部凈化設備運行噪聲，靜態噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態噪聲。

7.2.1潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統要求較為嚴格，如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格，因此應根據不同的要求設置系統(如純水的不同水質要求，冷卻水的不同水溫、水質要求等），以便重點保證要求嚴格的系統，也利于管理和節省運轉費用。目前設在潔凈廠房中的生產工藝大多為技術發展迅速的工業，如大規模集成電路、生物制藥等。這些生產部門產品升級換代快，生產工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。

潔凈廠房中生產區、輔助區和各類生產設備的布置與潔凈室(區)內的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關，所以本規范規定：在潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產品潔凈室（區）內布置的基本要求。另外，由于電子產品更新換代快，電子工廠在實際生產中，在線維修及調試、邊生產邊增加設備擴大生產能力的情況很多，因此在做工藝布局時，應根據具體情況，考慮這些因素，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)之間的頻繁聯系發生交叉污染，應根據電子產品生產工藝要求合理選擇相應技術措施，如人的聯系應采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。江蘇國內潔凈室檢測范圍

潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控制的密閉性較好的空間。安徽潔凈工作臺潔凈室檢測服務商

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區)不宜設窗臺；4當地面采用活動地板時，活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區）的墻板和頂棚，宜采用輕質壁板構造。安徽潔凈工作臺潔凈室檢測服務商