伺服系統定位精度的激光干涉儀校準流程是什么？

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成都微伺科技有限公司2025-03-27

伺服系統定位精度的激光干涉儀校準流程如下：準備工作? 確保測量環境穩定，控制溫度、濕度和氣壓，以減少外部因素對測量結果的影響?。安裝激光干涉儀，并將其與伺服系統的運動軸對準，確保光路準確?。光路校準? 調整激光干涉儀的干涉鏡和反射鏡，使激光束與被測軸精確對準?。使用激光頭后方的指形輪和三腳架旋鈕，確保兩道光束完全重合并進入回光孔?。數據采集? 在伺服系統運動軸上設置若干等距定位點，并啟動測量軟件，輸入相關參數（如材料膨脹系數）?。采用基于位置的目標采集方式，記錄每個定位點的數據，并生成分析曲線?。誤差分析與補償? 通過測量軟件分析數據，繪制誤差補償圖表，確定每個定位點的補償值?。將補償數據寫入伺服系統控制系統，以修正定位誤差?。驗證與調整? 重新測量伺服系統的定位精度，驗證補償效果?。若誤差仍超出允許范圍，重復調整光路和補償參數，直至滿足精度要求?。記錄與存檔? 詳細記錄校準過程中的所有步驟和結果，便于后續復查和分析?。通過以上流程，可有效提升伺服系統的定位精度，確保其在高精度應用中的穩定性和可靠性?。