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黑龍江激光光刻膠國產廠商

來源： 發布時間：2025-05-02

在半導體材料領域，廣東吉田半導體材料有限公司憑借 23 年技術沉淀，已成為國內光刻膠行業的企業。公司產品線覆蓋正性、負性、厚膜、納米壓印等多類型光刻膠，廣泛應用于芯片制造、LCD 顯示、PCB 電路板等領域。
  1. 技術：自主研發的光刻膠產品具備高分辨率（如 JT-3001 厚板光刻膠）、高感光度（如 JT-1000 負性光刻膠）及抗深蝕刻性能，部分指標達到水平。
  2. 嚴苛品控：生產過程嚴格遵循 ISO9001 體系，材料進口率 100%，并通過 8S 現場管理確保制程穩定性。
  3. 定制化服務：支持客戶需求定制，例如為特殊工藝開發光刻膠，滿足多樣化場景需求。
公司位于松山湖開發區，依托產業園區資源，持續加大研發，與科研機構合作推動技術升級。目前，吉田半導體已服務全球數千家客戶，以 “匠心品質、售后無憂” 的理念贏得市場口碑。
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光刻膠的主要應用領域

光刻膠是微電子制造的主要材料，廣泛應用于以下領域：

 半導體制造

? 功能：在晶圓表面形成微細電路圖案，作為蝕刻或離子注入的掩膜。

? 分類：

? 正性光刻膠：曝光區域溶解于顯影液，形成與掩膜版一致的圖案（主流，分辨率高）。

? 負性光刻膠：未曝光區域溶解，形成反向圖案（用于早期工藝，耐蝕刻性強）。

? 技術演進：隨制程精度提升，需匹配不同曝光波長（紫外UV、深紫外DUV、極紫外EUV），例如EUV光刻膠用于7nm以下制程。

 平板顯示（LCD/OLED）

? 彩色濾光片（CF）：在玻璃基板上制作紅/綠/藍像素單元，光刻膠用于圖案化黑矩陣（BM）、彩色層（R/G/B）和保護層。

? 電極圖案：制作TFT-LCD的電極線路或OLED的陰極/陽極，需高透光率和精細邊緣控制。

 印刷電路板（PCB）

? 線路蝕刻：在覆銅板上涂膠，曝光顯影后保留線路區域，蝕刻去除未保護的銅箔，形成導電線路。

? 阻焊與字符層：阻焊膠覆蓋非線路區域，防止短路；字符膠用于印刷電路板標識。

 LED與功率器件

? 芯片制造：在藍寶石/硅基板上制作電極和量子阱結構，需耐高功率環境的耐高溫光刻膠。

? Micro-LED：微米級芯片轉移和陣列化，依賴超高分辨率光刻膠（分辨率≤5μm）。

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技術驗證周期長
半導體光刻膠的客戶驗證周期通常為2-3年，需經歷PRS（性能測試）、STR（小試）、MSTR（批量驗證）等階段。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動驗證，預計2025年才能進入穩定供貨階段。

 原材料依賴仍存
樹脂和光酸仍依賴進口，如KrF光刻膠樹脂的單體國產化率不足10%。國內企業需在“吸附—重結晶—過濾—干燥”耦合工藝等關鍵技術上持續突破。

 未來技術路線

? 金屬氧化物基光刻膠：氧化鋅、氧化錫等材料在EUV光刻中展現出更高分辨率和穩定性，清華大學團隊已實現5nm線寬的原型驗證。

? 電子束光刻膠：中科院微電子所開發的聚酰亞胺基電子束光刻膠，分辨率達1nm，適用于量子芯片制造。

? AI驅動材料設計：華為與中科院合作，利用機器學習優化光刻膠配方，研發周期縮短50%。

吉田半導體突破光刻膠共性難題，提升行業生產效率，通過優化材料配方與工藝，吉田半導體解決光刻膠留膜率低、蝕刻損傷等共性問題，助力客戶降本增效。
針對傳統光刻膠留膜率低、蝕刻損傷嚴重等問題，吉田半導體研發的 T150A KrF 光刻膠留膜率較同類產品高 8%，密集圖形側壁垂直度達標率提升 15%。其納米壓印光刻膠采用特殊交聯技術，在顯影過程中減少有機溶劑對有機半導體的損傷，使芯片良率提升至 99.8%。這些技術突破有效降低客戶生產成本，推動行業生產效率提升。厚板光刻膠 JT-3001，抗深蝕刻，PCB 電路板制造Preferred！

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 上游原材料：

? 樹脂：彤程新材、鼎龍股份實現KrF/ArF光刻膠樹脂自主合成，金屬雜質含量<5ppb（國際標準<10ppb）。

? 光引發劑：久日新材攻克EUV光刻膠原料光致產酸劑，累計形成噸級訂單；威邁芯材合肥基地建成100噸/年ArF/KrF光刻膠主材料產線。

? 溶劑：怡達股份電子級PM溶劑全球市占率超40%，與南大光電合作開發配套溶劑，技術指標達SEMI G5標準。

設備與驗證：

? 上海新陽與上海微電子聯合開發光刻機適配參數，驗證周期較國際廠商縮短6個月；徐州博康實現“單體-樹脂-成品膠”全鏈條國產化，適配ASML Twinscan NXT系列光刻機。

? 國內企業通過18-24個月的晶圓廠驗證周期（如中芯國際、長江存儲），一旦導入不易被替代。
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納米級圖案化的主要工具。黑龍江激光光刻膠國產廠商

? 正性光刻膠

? YK-300：適用于半導體制造，具備高分辨率（線寬≤10μm）、耐高溫（250℃）、耐酸堿腐蝕特性，主要用于28nm及以上制程的晶圓制造，適配UV光源（365nm/405nm）。

? 技術優勢：采用進口樹脂及光引發劑，絕緣阻抗高（>10^14Ω），滿足半導體器件對絕緣性的嚴苛要求。

? 負性光刻膠

? JT-1000：負性膠，主打優異抗深蝕刻性能，分辨率達3μm，適用于功率半導體、MEMS器件制造，可承受氫氟酸（HF）、磷酸（H3PO4）等強腐蝕液處理。

? SU-3：經濟型負性膠，性價比高，適用于分立器件及低端邏輯芯片，光源適應性廣（248nm-436nm），曝光靈敏度≤200mJ/cm2。

2. 顯示面板光刻膠

? LCD正性光刻膠YK-200：專為TFT-LCD制程設計，具備高涂布均勻性（膜厚誤差±1%）、良好的基板附著力，用于彩色濾光片（CF）和陣列基板（Array）制造，支持8.5代線以上大規模生產。

? 水性感光膠JT-1200：環保型產品，VOC含量<50g/L，符合歐盟RoHS標準，適用于柔性顯示基板，可制作20μm以下精細網點，主要供應京東方、TCL等面板廠商。

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標簽： 錫片 光刻膠