在真空泵選型前,我們必須弄清楚幾個基礎概念:真空,理論上是指容積里面不含有任何的物質。(現實中是不存在真正的真空的)通常把容器內氣壓低于正常大氣壓(101325 Pa)的都稱之為真空狀態。真空度表示處于真空狀態下的氣體稀簿程度,通常用壓力值來表示。實際應用中,真空度,通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值,從表上表示出來的數值又稱為表壓強,業界也稱為極限相對壓強,即: 真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa,水環式真空泵極限壓強3300Pa;旋片式真空泵極限壓強約10Pa)。往復真空泵活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。往復式真空泵供應費用
真空泵的傳動方式,真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的較大缺點是,主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便。工業水環真空泵哪家好真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小。
干式螺桿真空泵由于其優越的性能,在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉子,通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉,在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機,用聯軸器與轉子連接,極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。
真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。我國生產真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎,國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認可并受到好評,應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。
歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據統計,目前國產干泵的應用還不足1%,國內半導體工業用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應大力研究開發干泵,使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。水環真空泵是一種粗真空泵。防腐真空泵報價
真空泵的轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可降低驅動功率。往復式真空泵供應費用
抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來表示。是彌補漏氣率的參數。不難理解,理論下抽一個相同體積的容器,為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度,而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 因為管路或者容器始終不可能做到不漏氣,而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素,所以,大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議,在計算出理論抽氣量的情況下,我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。往復式真空泵供應費用
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