利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時,波紋管會產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機械傳動機構轉化為指針的偏轉,從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關系來測量真空度。當氣壓發(fā)生變化時,薄膜會相應地產(chǎn)生形變,這種形變會導致電容的改變,進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結構簡單、響應迅速、測量范圍廣等特點。電容真空計的工作原理是怎樣的?天津皮拉尼真空計設備廠家
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數(shù)與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。江蘇皮拉尼真空計如果懷疑電容真空計出現(xiàn)故障,應及時進行檢修或更換。
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規(guī)管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等,這類真空計所測量的物理參數(shù)與氣體成分無關,測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下,直接進行測量是極其困難的。相對真空計:通過測量與壓強有關的物理量,并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等,它的特點是測量的準確度略差,而且和氣體的種類有關。在實際生產(chǎn)中,除真空校準外,大都使用相對真空計。
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。選型與使用量程選擇:根據(jù)測量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護:正確安裝并定期校準和維護。常見問題零點漂移:定期校準以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環(huán)境溫度變化對測量的影響。總結陶瓷真空計憑借其耐高溫、耐腐蝕和高精度等特性,在多個領域有廣泛應用。正確選型和使用能確保其長期穩(wěn)定運行。真空計按刻度方法如何分類?
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結構簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應用:低真空和中真空測量。真空計選型需要注意什么?溫州大氣壓真空計生產(chǎn)廠家
真空計按計量原理如何分類?天津皮拉尼真空計設備廠家
(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學效應來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發(fā)生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應改變,從而提供關于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結構簡單、操作便捷等特點。天津皮拉尼真空計設備廠家