（1）利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態或動力學效應來推算真空度，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規。a）皮拉尼電阻規利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發生變化時，熱絲的熱傳導性能會受到影響，進而導致電阻發生變化。通過測量電阻的變化，可以推算出真空度的數值。皮拉尼電阻規具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b）熱電偶規利用熱電效應進行真空度測量的儀器，其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化，熱電偶的溫差電勢也會相應改變，從而提供關于真空度的信息。熱電偶規具有結構簡單、操作便捷等特點。部分真空計對被測氣體有要求。河南金屬真空計設備公司

MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用，包括但不限于：半導體制造：在半導體制造過程中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保氣氛純凈并排除雜質，從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領域，MEMS電容真空計用于確保加工環境的純度和穩定性，以提高冶金產品的質量和可靠性?？茖W研究：在物理學、化學、材料科學等領域的研究中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保實驗環境的準確性和穩定性。航空航天：在航空航天領域，MEMS電容真空計用于監測太空艙內的真空度，確保航天員的生命安全和設備的正常運行。醫療設備：在醫療設備的制造和維護過程中，MEMS電容真空計用于監測放射設備中的真空環境等，確保其正常工作。江蘇電容薄膜真空計生產廠家直空計使用過程中需要注意的事項？

6. 麥克勞真空計麥克勞真空計，通過壓縮氣體測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優點：精度高，無需校準。缺點：操作復雜，響應慢。應用：實驗室高真空校準。7. 質譜儀質譜儀通過分析氣體成分來間接測量壓力，適用于超高真空和極高真空范圍。（1）四極質譜儀原理：利用四極電場分離氣體離子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?? Torr。優點：可分析氣體成分。缺點：成本高，操作復雜。應用：超高真空和極高真空系統。

2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：響應快、成本低。缺點：受氣體種類影響較大。應用：普通真空系統監測。（2）熱電偶真空計原理：通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：結構簡單、穩定性好。缺點：精度較低。應用：低真空和中真空測量。如果懷疑電容真空計出現故障，應及時進行檢修或更換。

皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內的加熱絲（通常為鉑絲），該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂（電阻）。在測量過程中，加熱絲由恒定電流加熱，溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環境中時，由于氣體分子數量減少，加熱絲的熱導率降低，導致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導線電阻的變化，通過惠斯通電橋測量電阻變化，即可間接獲得真空度的讀數。皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼，內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件?？刂祁^則為感應頭提供必要的電路，并負責信號放大和信號數字化的工作。電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。四川電容薄膜真空計生產企業

皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器，它是根據皮拉尼原理制成的。河南金屬真空計設備公司

由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境，只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵，或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示，根據真空度的不同，又可以將真空泵分為以下幾種類型：(1)低真空（粗真空）泵：真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型：旋片式真空泵、水環真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵：真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型：螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵：真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型：滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵：真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型：旋轉活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋：真空度：真空度是指處于真空狀態下的氣體稀薄程度。若所測設備內的壓強低于大氣壓強，其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數值稱真空度。計算方法：真空度=大氣壓強-***壓強。單位：帕斯卡（Pa）、千帕（KPa）、兆帕（MPa）、大氣壓（atm）、毫米汞柱（mmHg）、巴（bar）、托（Torr）等河南金屬真空計設備公司