利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過測(cè)量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。如何校準(zhǔn)電容真空計(jì)?安徽金屬真空計(jì)原廠家
8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):測(cè)量范圍廣,適用性強(qiáng)。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)(1)放射性電離真空計(jì)原理:利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):無需電源,穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用:特殊環(huán)境真空測(cè)量。(2)聲波真空計(jì)原理:通過聲波傳播速度變化測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):非接觸式測(cè)量。缺點(diǎn):精度較低。應(yīng)用:特定工業(yè)應(yīng)用。南京皮拉尼真空計(jì)生產(chǎn)廠家在皮拉尼真空計(jì)中,熱敏電阻被放置在一個(gè)密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。
真空測(cè)量的特點(diǎn)測(cè)量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計(jì)是間接測(cè)量,只有壓力為105~10Pa時(shí),可直接測(cè)單位面積所受的力。3采用電測(cè)技術(shù),反應(yīng)迅速,靈敏度高,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。4大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分,否則會(huì)造成很大誤差。5測(cè)量精度不高。選擇真空計(jì)的原則在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。2被測(cè)氣體是否會(huì)損傷真空計(jì);真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來影響。3靈敏度與氣體種類有關(guān)否。4可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時(shí)間長短。5穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計(jì)的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場(chǎng)有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質(zhì)中,如強(qiáng)酸、鹽堿環(huán)境下,要求真空計(jì)具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環(huán)境下,對(duì)真空計(jì)中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發(fā)生失效、漂移情況的發(fā)生。
旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大,正處于吸氣過程;而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小,正處于排氣過程;居中的空間B的容積也逐漸減小,正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí),即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,***與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí),排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)(低真空級(jí)),由低真空級(jí)抽走,再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中,即組成了雙級(jí)泵。什么是真空測(cè)量?真空如何測(cè)量?
陶瓷薄膜真空計(jì)利用陶瓷材料的壓阻效應(yīng)或電容變化來測(cè)量真空度。具體來說,當(dāng)陶瓷材料受到外力(如真空度變化引起的壓力)作用時(shí),其電阻率或形狀會(huì)發(fā)生變化。通過測(cè)量這種電阻率的變化或電容的變化,可以精確計(jì)算出當(dāng)前的真空度。高精度:陶瓷薄膜真空計(jì)具有高精度和高穩(wěn)定性,能夠提供準(zhǔn)確的真空度數(shù)據(jù)。高穩(wěn)定性:由于陶瓷材料的形變恢復(fù)無遲滯,使得陶瓷薄膜真空計(jì)具有優(yōu)異的穩(wěn)定性??垢g、抗氧化:氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩(wěn)定性使得陶瓷薄膜真空計(jì)具有抗腐蝕、抗氧化能力,適用于多種惡劣環(huán)境。無選擇性:對(duì)被測(cè)氣體無選擇性,適用于多種氣體的真空度測(cè)量。如何減少電磁干擾對(duì)皮拉尼真空計(jì)的影響?四川mems皮拉尼真空計(jì)公司
真空計(jì)使用過程中常見的問題有哪些?安徽金屬真空計(jì)原廠家
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測(cè)真空泵和真空腔室的壓力。實(shí)驗(yàn)室研究:用于各種真空實(shí)驗(yàn)。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進(jìn)行。食品包裝:用于真空包裝機(jī)的壓力監(jiān)測(cè)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護(hù):正確安裝并定期校準(zhǔn)和維護(hù)。常見問題零點(diǎn)漂移:定期校準(zhǔn)以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量的影響。總結(jié)皮拉尼真空計(jì)以其寬量程、快速響應(yīng)和低成本等優(yōu)點(diǎn),在多個(gè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。正確選型和使用能確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行。安徽金屬真空計(jì)原廠家