激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。儀器校準激光干涉儀廠家

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。廣州顯微式激光干涉儀加工生產激光干涉儀具有有線性測量鏡組、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著激光干涉儀的出現，因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點，已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器，在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和之分，單頻激光干涉儀受環境因素影響較大，一般用于特定環境的實驗室。激光干涉儀應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強，普遍應用于各種工況下。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。

多功能激光干涉儀，適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發射光源、雙脈沖形成裝置、擴束器、微分時間延遲器、聚焦系統、干涉系統、轉換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統、被測信號接口、同步裝置和補償元件。具有時間分辨率精度高、響應速度快、用途廣，可以實時測量的優點。多功能激光干涉儀由十一部分構成：超短脈沖發射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統5、干涉系統6、轉換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統8、被測信號接口9、同步裝置10和補償元件11。其中，轉換元件7在干涉系統6的一個臂的光路A中，補償元件11是在干涉系統6的另一個臂的光路B中。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。數控軸平行度激光干涉儀維修

對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動。儀器校準激光干涉儀廠家

激光干涉儀的應用：幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。儀器校準激光干涉儀廠家

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