激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀使用注意事項：必要時要使用精密儀表油潤滑。工業(yè)激光干涉儀定制

激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用?，F(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的幾乎全部知識的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質(zhì)：單色性好、相干性好、方向性強(qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域，已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。工業(yè)激光干涉儀定制激光干涉儀配有各種附件。

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束，通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現(xiàn)平衡狀態(tài)，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時穩(wěn)定輸出后，激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。

激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀的使用注意事項激光干涉儀必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。對激光干涉儀要小心輕放，避免強(qiáng)烈的沖擊震動，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發(fā)生。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器，達(dá)到改變光路，方便測量的目的。激光干涉儀在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。

激光干涉儀引力波探測器對光學(xué)鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應(yīng)光學(xué)鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質(zhì)量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質(zhì)量一般為20kg左右。(2)熱傳導(dǎo)及熱噪聲；當(dāng)激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內(nèi)的激光功率非常強(qiáng),例如高級LIGO達(dá)到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內(nèi)部不能有結(jié)構(gòu)上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產(chǎn)生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。激光干涉儀使用注意事項：儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。精密測量激光干涉儀

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。工業(yè)激光干涉儀定制

隨著高精度數(shù)控機(jī)床行業(yè)的快速發(fā)展，激光干涉儀在機(jī)床行業(yè)的使用越來越普遍，然而其在使用過程中對激光光路的準(zhǔn)直調(diào)整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題，因為激光干涉儀在使用過程中光路準(zhǔn)直調(diào)整占用了很大一部分時間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準(zhǔn)方法都是憑經(jīng)驗，來回反復(fù)調(diào)整，也有人提出“高處動尾部，低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經(jīng)驗總結(jié)，后一種方法是從整體上把握了調(diào)整的方向，可以讓操作人員少走彎路，但并未提出一種定量的調(diào)整方法，所以在光路大體調(diào)整好后，還是靠經(jīng)驗感覺反復(fù)進(jìn)行進(jìn)一步精調(diào)，所以光路準(zhǔn)直工作的效率還是亟待提高。工業(yè)激光干涉儀定制