激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點。成都坐標測量機激光干涉儀設計

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量?！案缮娣ā笔且环N利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。上海專業激光干涉儀供應廠家激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器。

鏡組的靈活使用：激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。

激光干涉儀常配合筆記本電腦使用，但如果不注意這些問題，無論是軟件抑或是電腦病毒，往往會影響到測量和使用。激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關?激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對的測量精度有著重要的影響。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。

激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現平衡狀態，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時穩定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。激光干涉儀可以進行機床振動測試與分析。山東精密儀器激光干涉儀

激光干涉儀在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測。成都坐標測量機激光干涉儀設計

激光干涉儀以干涉技術為關鍵，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。功能廣；可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；可實現龍門機床雙軸同步測量；可實現對機床回轉軸的測量與校準。成都坐標測量機激光干涉儀設計