精密環控柜主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環,控制系統對循環氣流的每個環節進行處理,從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統可實現潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環境控制。自面世以來,已為相關領域客戶提供了穩定的實驗室環境以及監測服務,獲得了眾多好評。采用先進的智能自控系統,根據監測數據自動調節環境參數,符合溫濕度波動要求。電子芯片環境穩定性
激光干涉儀用于測量微小位移,精度可達納米級別。溫度波動哪怕只有 1℃,由于儀器主體與測量目標所處環境溫度不一致,二者熱脹冷縮程度不同,會造成測量基線的微妙變化,導致測量位移結果出現偏差,在高精度機械加工零件的尺寸檢測中,這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,增加生產成本。高濕度環境下,水汽會干擾激光的傳播路徑,使激光發生散射,降低干涉條紋的對比度,影響測量人員對條紋移動的精確判斷,進而無法準確獲取位移數據,給精密制造、航空航天等領域的科研與生產帶來極大困擾。天津環境預算設備內部濕度穩定性極強,8 小時內可達±0.5%。
在芯片這一高科技產品的復雜生產流程里,眾多環節對溫濕度的波動展現出了近乎苛刻的精密度要求。光刻過程中,利用高精度的光刻設備,將預先設計好的復雜電路圖案轉移至硅片表面。溫度的穩定性起著決定性作用,哪怕有零點幾攝氏度的微小波動,都會使光刻膠內部的化學反應速率產生偏差。光刻膠作為一種對光敏感的高分子材料,其反應速率的改變將直接作用于光刻成像效果,致使圖案邊緣模糊、線條粗細不均,進而讓芯片上的線路出現偏差,甚至引發短路故障,讓前期投入的大量人力、物力和時間付諸東流。與此同時,濕度因素同樣不可小覷。光刻車間若濕度偏高,水汽極易滲透至光刻膠內部,使其含水量上升,感光度隨之降低,如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄,嚴重影響光刻精度,導致芯片良品率大打折扣,大幅增加生產成本。
光刻設備對溫濕度的要求也極高,光源發出的光線需經過一系列復雜的光學系統聚焦到硅片表面特定區域,以實現對光刻膠的曝光,將設計好的電路圖案印制上去。當環境溫度出現極其微小的波動,哪怕只是零點幾攝氏度的變化,光刻機內部的精密光學元件就會因熱脹冷縮特性而產生細微的尺寸改變。這些光學元件包括鏡片、反射鏡等,它們的微小位移或形狀變化,會使得光路發生偏差。原本校準、聚焦于硅片特定坐標的光線,就可能因為光路的改變而偏離預定的曝光位置,出現曝光位置的漂移。關于防微振,除了控制風速降低振動外,在地面增加隔振基礎,可有效降低外部微振動的傳遞。
芯片的封裝環節同樣對溫濕度條件有著極高的敏感度。封裝作為芯片生產的一道關鍵工序,涉及多種材料的協同作用,包括芯片與基板的連接、外殼的封裝等。在此過程中,溫度的細微起伏會改變材料的物理特性。以熱脹冷縮效應為例,若封裝過程溫度把控不佳,芯片與封裝外殼在后續的使用過程中,由于溫度變化產生不同程度的膨脹或收縮,二者之間極易出現縫隙。這些縫隙不僅破壞芯片的密封性,使外界的水汽、灰塵等雜質有機可乘,入侵芯片內部,影響芯片正常工作,還會削弱芯片與封裝外殼之間的連接穩定性,降低芯片在各類復雜環境下的可靠性。封裝材料大多為高分子聚合物或金屬復合材料,它們對水分有著不同程度的敏感性。高濕度環境下,水分容易被這些材料吸附,導致材料受潮變質,如塑料封裝材料可能出現軟化、變形,金屬材料可能發生氧化腐蝕,進而降低封裝的整體可靠性,嚴重縮短芯片的使用壽命,使芯片在投入使用后不久便出現故障。主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成。浙江環境試驗箱
磁屏蔽部分,可通過被動防磁和主動消磁器進行磁場控制。電子芯片環境穩定性
在電池的組裝工序中,溫濕度的波動對產品質量和性能的影響不容小覷。溫度一旦發生變化,無論是電池外殼,還是內部各種組件,都會不可避免地產生熱脹冷縮現象。倘若各部件的膨脹或收縮程度存在差異,組裝過程便會困難重重,極易出現縫隙過大或過小的情況。縫隙過大時,電池有漏液風險,這不但會嚴重損害電池性能,還埋下安全隱患;而縫隙過小,則可能致使部件間相互擠壓,破壞電池內部結構。在濕度方面,高濕度環境下,電池組件,尤其是金屬連接件極易受潮生銹。生銹后,其電阻增大,電池導電性能隨之變差,導致電池整體輸出功率降低。電子芯片環境穩定性