精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了眾多好評。精密環(huán)控設(shè)備為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。四川0.01℃環(huán)境

光刻設(shè)備對溫濕度的要求也極高，光源發(fā)出的光線需經(jīng)過一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域，以實現(xiàn)對光刻膠的曝光，將設(shè)計好的電路圖案印制上去。當(dāng)環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動，哪怕只是零點幾攝氏度的變化，光刻機內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細微的尺寸改變。這些光學(xué)元件包括鏡片、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化，會使得光路發(fā)生偏差。原本校準(zhǔn)、聚焦于硅片特定坐標(biāo)的光線，就可能因為光路的改變而偏離預(yù)定的曝光位置，出現(xiàn)曝光位置的漂移。四川0.01℃環(huán)境在超高水準(zhǔn)潔凈度控制下，該系統(tǒng)設(shè)備工作區(qū)呈現(xiàn)高潔凈度，可優(yōu)于 ISOclass3。

精密環(huán)控柜能夠?qū)崿F(xiàn)如此性能，背后蘊含著先進而復(fù)雜的原理。在溫度控制方面，自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)是關(guān)鍵所在。通過高精度傳感器實時監(jiān)測柜內(nèi)溫度，將數(shù)據(jù)反饋至控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)依據(jù)預(yù)設(shè)的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調(diào)節(jié)制冷（熱）系統(tǒng)的運行功率。例如，當(dāng)溫度高于設(shè)定值時，制冷系統(tǒng)迅速啟動，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標(biāo)范圍；反之，加熱系統(tǒng)則及時介入。對于濕度控制，利用先進的濕度調(diào)節(jié)裝置，通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據(jù)傳感器反饋的濕度數(shù)據(jù)，將設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過濾器，通過物理攔截、靜電吸附等原理，對進入柜內(nèi)的空氣進行深度過濾，確保可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 。

精密環(huán)控柜采用可拆卸鋁合金框架，這一設(shè)計極具創(chuàng)新性和實用性。對于大型設(shè)備，可在現(xiàn)場進行組裝，減少了運輸過程中的體積和重量，降低了運輸難度和成本。同時，鋁合金材質(zhì)具有強度高、質(zhì)量輕、耐腐蝕等優(yōu)點，保證了設(shè)備的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和使用壽命。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì)，不僅堅固耐用，而且美觀大方。更重要的是，可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，滿足不同用戶的個性化審美需求。在一些對環(huán)境美觀度有要求的實驗室或生產(chǎn)車間，定制化的外觀設(shè)計能使設(shè)備更好地融入整體環(huán)境。這種既注重功能又兼顧外觀的設(shè)計，充分體現(xiàn)了產(chǎn)品的人性化和靈活性。針對一些局部溫度波動精度要求比較高的區(qū)域，可以采用局部氣浴的控制方式，對局部進行高精密溫控。

數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能為用戶帶來了極大的便利，提升了設(shè)備的使用體驗和管理效率。數(shù)據(jù)自動生成曲線，就如同設(shè)備運行的 “心電圖”，用戶通過曲線能直觀地看到設(shè)備運行過程中溫濕度、壓力等參數(shù)隨時間的變化情況，便于及時發(fā)現(xiàn)異常波動。數(shù)據(jù)自動保存，方便用戶進行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析和處理。科研人員可以通過分析歷史數(shù)據(jù)，優(yōu)化實驗方案；生產(chǎn)人員能夠依據(jù)數(shù)據(jù)找出設(shè)備運行的參數(shù)，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。同時，運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，查詢一目了然。一旦設(shè)備出現(xiàn)故障，用戶能迅速從記錄中獲取故障發(fā)生的時間、類型等信息，為快速排查和解決故障提供有力支持。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性極強，8 小時內(nèi)可達±0.5%。四川0.01℃環(huán)境

該系統(tǒng)集成暖通通風(fēng)、環(huán)境潔凈、照明安防及實驗室管理系統(tǒng)，能夠?qū)崟r記錄查詢數(shù)據(jù)。四川0.01℃環(huán)境

在電極制備環(huán)節(jié)，溫濕度的不穩(wěn)定會對電極材料的涂布均勻性造成極大干擾。溫度過高，涂布用的漿料黏度降低，流動性增強，容易出現(xiàn)厚度不均的情況，這會使得電池在充放電過程中局部電流密度不一致，降低電池性能。濕度若偏高，漿料中的水分含量難以精細控制，水分過多不僅會改變漿料的化學(xué)性質(zhì)，影響電極材料與集流體的附著力，還可能在后續(xù)干燥過程中引發(fā)氣泡，導(dǎo)致電極表面出現(xiàn)孔洞，增加電池內(nèi)阻，降低電池的能量密度和充放電效率。四川0.01℃環(huán)境