原子力顯微鏡，堪稱納米尺度下微觀世界探索的一把利刃，在材料科學、生物醫學等前沿領域發揮著無可替代的重要作用。它能夠對微觀形貌進行觀測，并細致地測量力學性能，為科研工作者打開了通往微觀世界的大門。然而，這一精密儀器對環境條件極為敏感。即便是極其微小的溫度波動，哪怕只有零點幾攝氏度的變化，都會對其關鍵部件 —— 微懸臂產生影響。微懸臂會因熱脹冷縮效應，改變自身的共振頻率與彈性系數，使得測量力與位移的精度大幅下降，難以探測樣品表面的原子級細微起伏。在濕度方面，高濕度環境同樣是個棘手的難題。此時，水汽極易在針尖與樣品之間悄然凝結，額外增加的毛細作用力，會嚴重干擾測量數據的準確性。不僅如此，水汽長期作用還可能腐蝕微懸臂，極大地縮短儀器的使用壽命，給科研工作帶來諸多阻礙。精密環境控制設備內部壓力波動極小，穩定在 +/-3Pa。上海電子顯微鏡溫濕度

在光學鏡片研磨這一精細入微的工藝里，溫濕度波動無疑是如影隨形的 “大敵”，對鏡片質量的影響堪稱致命。就研磨設備而言，即便是零點幾攝氏度的細微溫度變化，也會迅速讓研磨盤與鏡片材料的熱膨脹系數差異暴露無遺。這一差異會直接導致鏡片在研磨過程中受力不均，研磨效果參差不齊，鏡片的曲率精度因此大打折扣，進而嚴重影響其光學性能。而當處于高濕度環境時，空氣中彌漫的水汽就像隱匿的破壞者，極易在鏡片表面悄然凝結成水漬。這些水漬會在后續鍍膜工藝中成為棘手難題，極大地干擾鍍膜均勻性，致使鏡片的透過率和抗反射能力雙雙下滑，成品鏡片根本無法契合光學儀器所要求的嚴苛標準。上海電子顯微鏡溫濕度主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成。

激光干涉儀以其納米級別的測量精度，在半導體制造、精密機械加工等領域發揮著關鍵作用。然而，它對環境變化極為敏感，溫度、濕度的微小波動以及空氣潔凈度的差異，都可能干擾激光的傳播路徑與干涉效果，致使測量結果出現偏差。精密環控柜的超高精度溫度控制，能將溫度波動控制在極小區間，如關鍵區域 ±2mK（靜態），同時確保濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，并且實現百級以上潔凈度控制，為激光干涉儀提供穩定、潔凈的測量環境，保障其測量精度不受外界因素干擾。光譜分析儀用于分析物質的光譜特性，廣泛應用于半導體材料檢測、化學分析等領域。在工作時，外界環境的不穩定可能導致儀器內部光學元件的性能變化，影響光譜的采集與分析精度。精密環控柜通過調控溫濕度，避免因溫度變化使光學元件熱脹冷縮產生變形，以及因濕度異常造成的鏡片霉變、光路散射等問題。其穩定的環境控制能力，保證光譜分析儀能夠準確、可靠地分析物質光譜，為科研與生產提供數據支持。

光刻設備對溫濕度的要求也極高，光源發出的光線需經過一系列復雜的光學系統聚焦到硅片表面特定區域，以實現對光刻膠的曝光，將設計好的電路圖案印制上去。當環境溫度出現極其微小的波動，哪怕只是零點幾攝氏度的變化，光刻機內部的精密光學元件就會因熱脹冷縮特性而產生細微的尺寸改變。這些光學元件包括鏡片、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化，會使得光路發生偏差。原本校準、聚焦于硅片特定坐標的光線，就可能因為光路的改變而偏離預定的曝光位置，出現曝光位置的漂移。在超高水準潔凈度控制下，該系統設備工作區呈現高潔凈度，可優于 ISOclass3。

我司憑借深厚的技術積累，自主研發出高精密控溫技術，精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。該系統潔凈度可實現百級、十級、一級。關鍵區域 ±5mK（靜態）的溫度穩定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內部溫度規格，為諸如芯片研發這類對溫度極度敏感的項目，打造了近乎完美的溫場環境，保障實驗數據不受溫度干擾。同時，設備內部濕度穩定性可達±0.5%@8h，壓力穩定性可達+/-3Pa，長達 144h 的連續穩定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面，實現百級以上潔凈度控制，工作區潔凈度優于 ISO class3，確保實驗結果的準確性與可靠性，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。精密環控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見加工設備提供穩定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。高精度溫濕度均勻性

設備內部壓力穩定性可達 +/-3Pa。上海電子顯微鏡溫濕度

刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料，從而雕琢出精細的電路結構。在這一精細操作過程中，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應”般，干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩定時，硅片不同部位在相同時間內所經歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足，直接破壞芯片的電路完整性，嚴重影響芯片性能。濕度方面，一旦出現不穩定狀況，刻蝕環境中的水汽會與刻蝕氣體發生復雜的化學反應，生成一些難以預料的雜質。這些雜質可能會附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結構中，給芯片質量埋下深深的隱患，后續即便經過多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。上海電子顯微鏡溫濕度