因此無需在與、第二起重機40a、40b對應的地上側(地板面側)設置軌道，從而能夠以低成本設置起重機用的軌道。如圖4所示，、第二起重機40a、40b分別具備、第二行駛部41a、41b、、第二桅桿42a、42b、以及、第二移送部44a、44b。、第二移送部44a、44b分別具備、第二升降臺43a、43b、、第二升降驅動部45a、45b。行駛部41a具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著區段內頂棚軌道11行駛。第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著第二區段內頂棚軌道12行駛。行駛驅動部例如可以是設置于、第二行駛部41a、41b且驅動車輪71a的電動馬達，也可以是使用頂棚軌道10設置的線性馬達。行駛部41a也可以能夠從區段內頂棚軌道11駛入區段間頂棚軌道13或者第二區段間頂棚軌道14地進行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區段內頂棚軌道12駛入區段間頂棚軌道13或者第二區段間頂棚軌道14地進行行駛。根據該結構，、第二起重機40a、40b根據需要而能夠容易地經由區段間頂棚軌道13或者第二區段間頂棚軌道14在區段內頂棚軌道11與第二區段內頂棚軌道12之間移動。、第二桅桿42a、42b從、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸，引導、第二升降臺43a、43b。濱湖區貨車商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。企業商鋪搬運具

    在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統以及搬運方法。本發明所涉及的搬運系統具備：區段內頂棚軌道，其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設置；第二區段內頂棚軌道。徐州貨車商鋪搬運收費濱湖區學校商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    具體實施方式以下，參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中，將鉛直方向設為z方向，將水平方向設為x方向、y方向。x方向是水平方向內的一個方向，是沿著后述的區段間頂棚軌道13和第二區段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著區段內頂棚軌道11的直線部11a、和第二區段內頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關于x、y、z方向的各方向，適當地將與箭頭相同一側稱為+側(例如，+x側)，將其相反側稱為-x側(例如，-x側)。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統100例如設置于半導體設備的制造工廠等，對收容有在半導體設備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中，使用物品2是foup的例子來進行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外，搬運系統100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統100的設備處理的各種物品。在本實施方式中。

    不使用特殊的搬運設備就能夠容易且不花費時間地使懸掛式起重機在存儲庫區域內與規定區域之間移動，不需要從軌道取下懸掛式起重機這樣的麻煩的作業，并且也不需要用于搬運已取下的懸掛式起重機的特殊的搬運設備，所以能夠抑制成本的增加。另外，在起重機軌道、高架搬運車軌道以及連結軌道的與起重機用行駛部行駛的方向正交的剖面形狀相同或者大致相同的情況下，能夠將上述軌道設為相同的規格，由此能夠以低成本進行軌道的設置。另外，在起重機用行駛部與搬運車用行駛部具備共用的車輪以及供車輪安裝的行駛部主體的情況下，將懸掛式起重機以及高架搬運車的行駛部設為相同的規格，從而能夠以低成本制造起重機用行駛部以及搬運車用行駛部。另外，在高架搬運車從停止狀態開始基于搬運車用行駛部的行駛時，使物品保持部上升至上方位置后，開始行駛的情況下，在高架搬運車行駛時，能夠防止高架搬運車的一部分與高架搬運車軌道的下方的障礙物接觸的情況。另外，在起重機軌道被設置于上述作業者進入禁止區域的上方，高架搬運車用軌道被設置于上述作業者通路的上方，懸掛式起重機進入高架搬運車軌道時，禁止作業者向桅桿通過的作業者通路的進入的情況下。濱湖區專業商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    經由第二連結軌道60b向存儲庫區域10b內的起重機軌道20移動(參照圖9的箭頭)。第二機架間軌道44、第二連結軌道60b以及起重機軌道20各自剖面形狀相同，所以懸掛式起重機30的起重機用行駛部31能夠無障礙地從第二機架間軌道44經由第二連結軌道60b進入起重機軌道20。懸掛式起重機30構成被設置于存儲庫區域10b的存儲庫10的一部分，能夠在存儲庫區域10b內的保管部11與交接口12之間進行物品2的交接。此外，在懸掛式起重機30的移動中，在從當前的軌道向下一個軌道換乘時、或者以曲線狀移動時也可降低移動速度，防止下垂的桅桿32因振動或者離心力等向外側擺動。另外，懸掛式起重機30走從存儲庫區域10b向存儲庫區域10a移動的情況下，與上述相同，首先，從存儲庫區域10b內的起重機軌道20c經由第二連結軌道60b向第二機架間軌道44移動。接著，懸掛式起重機30向第二機架內環繞軌道42的外繞軌道42a移動，經由連接軌道42c向內繞軌道42b移動。接著，懸掛式起重機30從機架間軌道43側的連接軌道42c向外繞軌道42a移動，從外繞軌道42a向機架間軌道43移動，從機架間軌道43經由連結軌道60a向存儲庫區域10a內的起重機軌道20移動。如上所述，根據本實施方式的搬運系統100。錫山區寫字樓商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州貨車商鋪搬運收費

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    使懸掛式起重機30從存儲庫區域10a沿著機架間軌道43、機架內環繞軌道41以及第二機架間軌道44移動，經由維護區域10c側的第二連結軌道60b向起重機軌道20c移動。在維護區域10c中，也可保持將懸掛式起重機30保持于起重機軌道20c的狀態來進行維護，也可從起重機軌道20c取下懸掛式起重機30來進行維護。另外，可以利用維護裝置mn維護懸掛式起重機30，也可利用其它器具等進行維護。在利用維護裝置mn進行維護的情況下，例如也可通過控制裝置80自動地進行。在使懸掛式起重機30從維護區域10c向存儲庫區域10a移動的情況下，與上述實施方式相同，使懸掛式起重機30沿著起重機軌道20c、第二連結軌道60b以及第二機架間軌道44移動，從第二機架內環繞軌道42側向存儲庫區域10a移動。這樣，能夠容易使懸掛式起重機30在存儲庫區域10a內與維護區域10c之間移動，能夠避免在維護時將懸掛式起重機30從起重機軌道20取下并搬運這樣的麻煩并且能夠避免提高成本的作業。另外，如圖12所示，規定區域10d也可具有懸掛式起重機30的初始投入部90、以及保管多個懸掛式起重機30的起重機保管部91。此外，雖在規定區域10d配置有維護裝置mn，但也可代替維護裝置mn而配置有保管部11，也可配置有起重機保管部91。企業商鋪搬運具

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