真空計(jì)的安裝過(guò)程需要遵循一定的步驟和注意事項(xiàng),以下是真空計(jì)安裝的一般指導(dǎo): 一、安裝前準(zhǔn)備閱讀說(shuō)明書(shū):在安裝前,應(yīng)認(rèn)真閱讀真空計(jì)的說(shuō)明書(shū),了解真空計(jì)的基本原理、參數(shù)和性能特點(diǎn)。選擇安裝位置:真空計(jì)的安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離任何氣體泄漏源,且處于被測(cè)介質(zhì)內(nèi),以確...
真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域中都發(fā)揮著重要作用,包括但不限于: 科研領(lǐng)域:在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等實(shí)驗(yàn)中,真空計(jì)用于測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置內(nèi)的真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的純凈度和穩(wěn)定性。 工業(yè)生產(chǎn):在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中,真空計(jì)用于監(jiān)控生產(chǎn)過(guò)程中的真空...
真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn): 1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶(hù)可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。 2.易維...
陶瓷薄膜真空計(jì)主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優(yōu)異的機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性;金屬薄膜作為電容的感測(cè)元件,對(duì)真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結(jié)構(gòu);電路板則負(fù)責(zé)將電容變化轉(zhuǎn)換為可讀...
真空環(huán)境在制造業(yè)中的應(yīng)用:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,真空鍍膜技術(shù)可以在芯片表面形成均勻、高質(zhì)量的薄膜;真空吸附技術(shù)可以用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的污染物去除、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域的涂層均勻性保證。真空設(shè)備在科研中的應(yīng)用:在物理學(xué)領(lǐng)域,高真空環(huán)境對(duì)于電子顯微鏡等精密儀...
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
不同類(lèi)型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,主要包括以下幾類(lèi): 利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣...
真空計(jì)的校準(zhǔn)是真空測(cè)量的基礎(chǔ),也是研究和發(fā)展真空測(cè)量的有力工具。定期校準(zhǔn)可以確保真空計(jì)的測(cè)量精度和穩(wěn)定性。同時(shí),正確的使用和維護(hù)也是延長(zhǎng)真空計(jì)使用壽命和保持其性能的關(guān)鍵。綜上所述,真空計(jì)是一種精密測(cè)量真空度的關(guān)鍵儀器,在多個(gè)領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。隨著科技的...
真空計(jì)可以按照測(cè)量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類(lèi)。其中,按照測(cè)量原理分類(lèi)是最常見(jiàn)的方式。不同類(lèi)型的真空計(jì)具有不同的測(cè)量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa...
真空計(jì)的歷史沿革1643年:意大利物理學(xué)家E.托里拆利進(jìn)行大氣壓力實(shí)驗(yàn),開(kāi)創(chuàng)了定量測(cè)量真空程度的先河。19世紀(jì)中葉:英國(guó)發(fā)明家Bourdon發(fā)明了形變真空計(jì),是工業(yè)上應(yīng)用*****的***型粗真空計(jì)之一。1858年:德國(guó)玻璃工,在真空度需粗略指示場(chǎng)...
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。 根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:...
金屬薄膜真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,金屬薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,金屬薄膜真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以確保冶金產(chǎn)品的質(zhì)量...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi) 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)...
陶瓷薄膜真空計(jì) 安裝位置:陶瓷薄膜真空計(jì)的安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離振動(dòng)源和熱源,以確保測(cè)量精度和穩(wěn)定性。校準(zhǔn)和維護(hù):定期對(duì)陶瓷薄膜真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù),以確保其長(zhǎng)期保持測(cè)量精度和穩(wěn)定性。使用環(huán)境:避免將陶瓷薄膜真空計(jì)暴露在腐蝕性氣體或高溫環(huán)境中,以免損壞其內(nèi)部...
陶瓷薄膜真空計(jì) 安裝位置:陶瓷薄膜真空計(jì)的安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離振動(dòng)源和熱源,以確保測(cè)量精度和穩(wěn)定性。校準(zhǔn)和維護(hù):定期對(duì)陶瓷薄膜真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù),以確保其長(zhǎng)期保持測(cè)量精度和穩(wěn)定性。使用環(huán)境:避免將陶瓷薄膜真空計(jì)暴露在腐蝕性氣體或高溫環(huán)境中,以免損壞其內(nèi)部...
真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域中都發(fā)揮著重要作用,包括但不限于: 科研領(lǐng)域:在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等實(shí)驗(yàn)中,真空計(jì)用于測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置內(nèi)的真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的純凈度和穩(wěn)定性。 工業(yè)生產(chǎn):在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中,真空計(jì)用于監(jiān)控生產(chǎn)過(guò)程中的真空...
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。 此外,皮拉尼真空計(jì)還常用于監(jiān)測(cè)從大氣到高真空區(qū)域開(kāi)始的泵送過(guò)程(如渦輪分子...
辰儀陶瓷電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)英福康的陶瓷電容真空計(jì)而開(kāi)發(fā)的一款陶瓷膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化的陶瓷膜片真空計(jì),產(chǎn)品測(cè)量精度已達(dá)到和英福康一致水平。辰儀陶瓷電容真空計(jì)已在暖通、儲(chǔ)能、光伏、CVD等行業(yè)銷(xiāo)售,產(chǎn)品性能獲得客戶(hù)認(rèn)可。 辰儀陶瓷電容真...
MEMS電容真空計(jì)是一種利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的電容式真空計(jì)。以下是對(duì)MEMS電容真空計(jì)的詳細(xì)介紹: 基本原理MEMS電容真空計(jì)基于電容變化的原理來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)彈性薄膜作為感測(cè)元件,當(dāng)外界氣壓改變時(shí),薄膜會(huì)發(fā)生形變,進(jìn)而改變與上...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi) 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)...
皮拉尼真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于: 化學(xué)工業(yè):用于監(jiān)測(cè)化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中的真空度變化。電子與微電子領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體制造和微電子器件生產(chǎn)過(guò)程中的真空度測(cè)量。氣相沉積:用于監(jiān)測(cè)氣相沉積過(guò)程中的真空度變化。電子束焊接:用于電子束焊接過(guò)程中的真...
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。 此外,皮拉尼真空計(jì)還常用于監(jiān)測(cè)從大氣到高真空區(qū)域開(kāi)始的泵送過(guò)程(如渦輪分子...
結(jié)構(gòu)組成 MEMS電容真空計(jì)主要由真空規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成。真空規(guī)管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結(jié)構(gòu)等組件。測(cè)量電路則用于對(duì)電容變化進(jìn)行處理,得到真空度的值。此外,MEMS電容真空計(jì)還可能包含一些輔助組件,如溫度補(bǔ)償器、校準(zhǔn)電路等,以提高測(cè)量精度...
陶瓷薄膜真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,陶瓷薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,陶瓷薄膜真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量...
MEMS電容真空計(jì)是一種利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的電容式真空計(jì)。以下是對(duì)MEMS電容真空計(jì)的詳細(xì)介紹: 基本原理MEMS電容真空計(jì)基于電容變化的原理來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)彈性薄膜作為感測(cè)元件,當(dāng)外界氣壓改變時(shí),薄膜會(huì)發(fā)生形變,進(jìn)而改變與上...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi) 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)...
辰儀MEMS皮拉尼真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS925和MKS901P真空計(jì)而開(kāi)發(fā)的MEMS皮拉尼真空計(jì),是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術(shù)開(kāi)發(fā)的皮拉尼真空計(jì)。該真空計(jì)可用于半導(dǎo)體、光伏、等離子等對(duì)初中真空測(cè)量高精度要求的行業(yè),填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供造成的影響...
真空計(jì)的未來(lái)趨勢(shì)小型化: 真空計(jì)的體積越來(lái)越小,便于攜帶和使用。一體化:真空計(jì)測(cè)量單元與規(guī)管集成為一體,提高了測(cè)量的便捷性和準(zhǔn)確性。集成化:將多臺(tái)真空計(jì)組合成一臺(tái),實(shí)現(xiàn)多功能集成和測(cè)量。系統(tǒng)化:將真空度測(cè)量與相結(jié)合,形成完整的真空測(cè)量系統(tǒng)。智能化:真...
真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi) 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)...
幾種主要類(lèi)型真空計(jì)的詳細(xì)介紹和對(duì)比 真空計(jì)按真空度刻度方法分類(lèi) 真空計(jì)測(cè)量原理:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。特點(diǎn):對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)。示例:U型鎊壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)、熱輻射真...