7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區）內工藝設備發熱相差懸殊；5凈化空調系統與一般空調系統，6系統風量過大的凈化空調系統。凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。江蘇潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測標準

5.2.2人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率，并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應充分考慮人員、物料設備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據潔凈室(區）的空氣潔凈度等級、人員數量、未來發展需求等確定。物料凈化設施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據物料種類、包裝方式和潔凈室（區）的空氣潔凈度等級等確定。北京潔凈工作臺潔凈室檢測認真負責在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是。

12.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區)的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端；5同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；6同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區)，在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區)內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4送風量應能調節；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量。

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風速、結構形式應根據潔凈室（區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區)內空氣的**溫度；4應設置排水設施。7.4.6凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：1應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%；2整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露；3布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區)服務時，宜選用相同規格的空氣處理機組；送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統總阻力時，中效(高中效）、高效(亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；5應設置排水裝置。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機。北京消毒液凈化車間環境潔凈室檢測第三方檢測機構

空氣過濾器安裝方式應嚴密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。江蘇潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測標準

7.2.1潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統要求較為嚴格，如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格，因此應根據不同的要求設置系統(如純水的不同水質要求，冷卻水的不同水溫、水質要求等），以便重點保證要求嚴格的系統，也利于管理和節省運轉費用。目前設在潔凈廠房中的生產工藝大多為技術發展迅速的工業，如大規模集成電路、生物制藥等。這些生產部門產品升級換代快，生產工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。江蘇潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測標準