5.5.6在回、排風口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備，在安裝前應用現場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏，并應確認無漏后安裝。回、排風口安裝后，對非零泄漏邊框密封結構，應再對其邊框掃描檢漏，并應確認無漏；當無法對邊框掃描檢漏時，必須進行生物學等專門評價。5.5.7當在回、排風口上安裝動態氣流密封排風裝置時，應將正壓接管與接嘴牢靠連接，壓差表應安裝于排風裝置近旁目測高度處。排風裝置中的高效過濾器應在裝置外進行掃描檢漏，并應確認無漏后再安入裝置。潔凈室(區)已處于正常生產狀態,設備在指定的方式下進行,并且有人員按照規范操作。北京半導體凈化車間無塵室檢測技術好

1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;3三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。半導體凈化車間無塵室檢測誠信推薦空間內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。可以是開放式或封閉式。

無塵車間工程主要包括無塵車間設計、施工和運行管理前后相關的三個環節。質量源于設計，設計是**。而凈化工程的施工又區別于一般的建筑工程，包括圍護結構(俗稱“房中房”)；空調凈化系統；供電、自控、弱電系統；純水、特氣、物料供應系統；廢氣、廢水處理系統及相關設施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓，設備維護，以保證受控的生產科研環境持續符合要求。三個環節涵蓋了空態、靜態、動態三個占有狀態；環境受控又融合了風險評估、生產認證的概念和程序；加之潔凈技術跨行業、跨專業、跨學科的特點：使之無塵車間工程的難度和復雜性增加。因此對于無塵車間工程行業來說，優化設計、現場施工環境的協調與管控、工程相關技術細節的經驗積累，對客戶需求的理解和實現，以及對設計變更的準備和響應程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室（區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。隨著科技的迅猛發展，無塵室已成為現代工業、醫療、電子、航空航天等領域中不可或缺的關鍵環境控制手段。

11.4.1生物安全柜內如有氣管和水管，應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內封閉的排風立管相連接時，支管應采用防回流裝置，并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風管道之前，應對高效過濾器安裝邊框及整個濾芯面掃描檢漏。當為零泄漏排風裝置時，應對濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關的手動調節閥定風量系統中，當多臺安全柜排風并聯時，整個系統在安全柜安裝后應重新平衡，采用壓力無關的風量平衡閥時可不做此項平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應進行下列現場檢驗.（潔凈室）等級大體可以分為十萬級、萬級、千級、百級、十級。數字越小，潔凈等級越高。微生物無塵室檢測頻率

物料在進入潔凈室(區)之前按一定程序進行凈化的房間。北京半導體凈化車間無塵室檢測技術好

12.3.1防火卷簾安裝應符合下列規定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當采用不燃或難燃材料封堵時，其耐火極限應不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護，其封堵材料亦應采用水幕保護。2鋼質卷簾的簾板應平直，裝配成卷簾后，不應存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導軌內設置的防煙裝置的材料應為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應均勻緊密貼合，其貼合面長度不應小于導軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾，其兩側應安裝由感煙、感溫火災探測器組成的火災探測器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應符合下列規定：1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應是經相關檢測機構檢驗合格的產品。2防火門的開啟角度不應小于90°，并應具有在發生火災時能迅速關閉的功能。北京半導體凈化車間無塵室檢測技術好