(三)潔凈室控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子之產生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調節。
5. 有害氣體之排除。
6. 結構物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁干擾預防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節能之考量。
(四)潔凈室之分類
1.亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再運行,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
潔凈室環境驗證(HVAC系統,IQ, OQ, PQ。包括:粒子、浮游菌、沉降菌、表面樣、溫濕度)。山東實驗室環境檢測服務至上
潔凈室制造竣工驗收的調試工作1、凡有試運轉要求的設備單機試運轉應符合設備技術文件的有關規定。屬于機械設備的共性要求還應符合國家相關規定和機械設備施工安裝方面的有關行業標準。通常潔凈室需進行單機試運轉的設備有空調機組、送風增壓風機箱、排風設備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設備等。2、在單機試運轉合格后需對送風系統、回風系統、排風系統的風量、風壓調節裝置進行設定與調整使各系統的風量分配達到設計要求。這個階段檢測的目的主要是服務于空調凈化系統的調節與平衡往往需要反復進行多次。此項檢測主要由承包商負責建設方的維護管理人員宜于跟進以便熟悉系統。在此基礎上再進行包括冷、熱源在內的系統聯合試運轉時間一般不少于8h。要求系統中各項設備部件包括凈化空調系統、自動調節裝置等的聯動運轉與協調過程中應動作正確無異常現象。上海潔凈室檢測服務至上運行確認是要證明廠房、設施和設備的穩定、可靠的運行并符合設計的標準。
潔凈室(Clean Room),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。潔凈程度和控制污染的持續穩定性,是檢驗潔凈室質量的標準,該標準根據區域環境、凈化程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準,一些凈化工程公司,在通行標準之外,還設有自身執行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環境適應力遠超國際品牌。
溫濕度潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。較早檔次適用于處于空態的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統已經充分運轉,各項狀況已經穩定。每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。層流罩一種可提供局部高清潔環境的空氣凈化設備。它主要有箱體,風機,初效空氣過濾器,高效空氣過濾器。
潔凈室正壓值是指門窗全部關閉狀態下,室內靜壓大于室外靜壓的數值。它是通過凈化系統送風量大于回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔凈室正壓值,送風、回風和排風機比較好聯鎖,系統開啟時先啟動送風機,再啟動回風機和排風機;系統關閉時先關排風機,再關回風機和送風機,以防止潔凈室在系統開啟和關閉時受到污染。
維持潔凈室正壓所需的風量主要根據維護結構密閉性好壞來確定。我國潔凈室建設初期由于圍護結構密閉性較差,要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前維護結構密閉性已大為提高,維持同樣的正壓只要1~2次/h送風量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風量。 合格的第三方潔凈室檢測機構普遍要求要有具體的潔凈相關檢測。北京實驗室檢測方便客戶
按潔凈度級別劃分為1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為低等級別。山東實驗室環境檢測服務至上
定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。原理:亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別)。特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)(1)自凈時間:是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)(2)換氣次數(按上述自凈時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規范:15次/小時)優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。山東實驗室環境檢測服務至上
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