半導體凈化車間怎么設計及施工?
確定凈化等級根據半導體生產工藝的要求,確定凈化車間的潔凈度等級,如常見的ISO3級(百級)、ISO4級(千級)、ISO5級(萬級)等。不同的工藝步驟,如光刻、刻蝕、鍍膜等,對潔凈度的要求有所不同。平面布局規劃合理劃分功能區域,一般包括潔凈生產區、緩沖區、更衣室、風淋室、物料傳遞區、設備維護區等。遵循工藝流程,使物料和人員的流動路徑短,避免交叉污染和回流。例如,將光刻、刻蝕等關鍵工藝區域設置在高潔凈度區域,且靠近物料供應和成品輸出通道。 萬級凈化車間每立方米空氣大于等于0.5 微米的粒子數不超過 10,000 個,大于等于 5 微米的粒子數不超過 2,000 。南京十萬級凈化車間哪家好
十萬級凈化車間 凈化空調系統安裝設備安裝:空調機組、風機、空氣過濾器等設備的安裝要嚴格按照設備說明書進行,保證設備的水平度和垂直度,安裝位置準確。設備與管道的連接要采用軟連接,防止振動和噪音的傳播。風管制作與安裝:風管采用的鍍鋅鋼板或不銹鋼板制作,風管的制作要符合相關規范要求,風管的咬口縫、法蘭連接等部位要嚴密,防止漏風。風管安裝時,要注意風管的坡度和走向,避免積水和氣流不暢。電氣與自控系統安裝電氣安裝:按照設計圖紙進行電氣線路的敷設,電線電纜要穿管保護,管與管之間要采用金屬軟管連接并可靠接地。燈具、插座、開關等電氣設備的安裝要牢固、平整,接線正確。自控系統安裝:安裝溫濕度傳感器、壓差傳感器、風量調節閥等自控設備,實現對車間溫濕度、壓差、風量等參數的自動監測和控制。自控系統要進行調試和校準,確保其運行穩定、準確。無錫半導體凈化車間哪里買萬級凈化車間通常保持 5Pa-15Pa 的正壓,防止外界污染空氣進入車間!
十萬級凈化車間調試與驗收單機調試:對空調機組、風機、凈化設備等單機設備進行調試,檢查設備的運行參數是否正常,如風量、風壓、轉速等,確保設備能夠正常運行。系統調試:進行凈化空調系統的聯合調試,調整送風量、回風量、新風量,使車間內的氣流組織、溫濕度、壓差等參數達到設計要求。同時對電氣系統、自控系統等進行調試,確保各系統之間協調運行。驗收:按照相關標準和規范,對凈化車間進行驗收,包括潔凈度檢測、溫濕度檢測、壓差檢測、風量檢測、電氣性能檢測等。只有各項指標都符合要求,才能通過驗收,投入使用。
我們提供靈活的付款方式,確保客戶的資金流動不受影響。我們接受分期付款,客戶可以根據項目進度支付款項。我們承諾,每一個項目都嚴格按照合同約定的進度完成。在凈化車間裝修中,我們特別注重細節。無論是通風系統的設計還是照明設備的安裝,我們都力求做到比較好。我們的目標是提供一個舒適、高效的生產環境,確保客戶的生產順利進行。我們的凈化車間裝修服務不僅注重功能性,還注重經濟性。我們會在設計方案中充分考慮客戶的預算,提供性價比比較高的解決方案。我們承諾,每一個項目都物超所值。十萬級凈化車間每小時換氣次數通常為 18-25 次,總凈化時間一般不超過 40 分鐘。
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