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晶片隔振臺應用

來源: 發布時間:2020-08-16

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀納米技術(即先進的半導體**相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產), 振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環境的抑 制因素。

在納米技術中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統“TS 系列” 將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發展目前的技術和測量、創新和發展未知的技術。

裝載設備:

掃描電子顯微鏡,如 AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統,顯微硬度測量儀,

醫療檢測設備等 測振傳感器不斷監測振動,制動器根據這些信號產生反向力,以保持比較好的隔振狀態。晶片隔振臺應用

傳感器位置

傳感器可以移動到任何期望的位置。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。 傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。


運作方式

設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動。現在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統。 紅色LED不應點亮了。 如果它們點亮,則表示系統過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。


請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。


敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落!


TS-150/LP隔振臺質量怎么樣簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標準AVI/LP系統結合使用在前饋回路中,以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現有的AVI/LP系統中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進行測量,增益設置為128(V)和150(H)。


輸入電壓:115/230V

AC,50-60Hz        功耗:比較大20瓦

頻率范圍:0.2-20Hz       尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)

電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高) 重量傳感器:5.9kg

供電重量:1.6kg                        應用:室內

防護等級:IP 20                        溫度范圍 :5°C-40°C

相對濕度:10–90%(5–30°C)


AVI-600系列(負載:1200kg)

型號:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP

形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態:使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個LED指示防振狀態

單位尺寸:288×396×288×720×318×856×

控制器尺寸;448x286x143毫米

承重:1200kg(相等)

單位重量:約20kg,約26kg,聯絡我們

電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲

耗電量:正常27W
工作溫度范圍:5℃?40℃

工作濕度范圍:10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢。

選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢


TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 600-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式


AVI 600-M緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。


技術指標:

頻率:  1.2-200 Hz

負載范圍:  0-1200公斤

(單件):  600公斤 HERZ在被動式隔振系統產品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發的先進主動式隔振系統。壓電陶瓷技術隔振臺代理價格

AVI系列產品在振動加速度上的隔振效果。晶片隔振臺應用

AVI

400-XL

AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 400-XL的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 400-XL系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 400-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設備(例如SEM)時,避免了任何復雜的過程。


技術指標:

頻率: 1.2-200 Hz

負載范圍: 0-800公斤

(單個):  400公斤 晶片隔振臺應用

岱美儀器技術服務(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,擁有一支專業的技術團隊。在岱美儀器技術服務近多年發展歷史,公司旗下現有品牌岱美儀器技術服務等。公司堅持以客戶為中心、磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】市場為導向,重信譽,保質量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。誠實、守信是對企業的經營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。