六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3，吳江區重型工業烤箱.電器組件：采用中國臺灣臺安與中國臺灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護系統1.高溫保護系統：當由于外力原因導致溫度失控時，本系統會在超過設定溫度10度時自動停止加熱，從而保護你的產品及機器的安全。2.過流保護系統：當由于外加電壓過高或其它原因導致整機的功率超出正常功率時，本系統會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。八、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，吳江區重型工業烤箱，可燃氣體及性物品九、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常，吳江區重型工業烤箱、人為使用不當、保養不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現場響應時間為24小時。2.出貨文件：機器規格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養，簡易故障的排除）。精密送風循環隧道爐。吳江區重型工業烤箱
五、電源裝置1.電壓：AC380V，3相5線，50Hz2.功率：10KW/15A3.電源引線：由客戶自備六、安全保護系統1.空氣開關（防止過流和短路）2.真空泵電機過流保護（保護真空泵電機電流過高）3.超溫保護（防止工作室溫度過高，保護產品），聲光報警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380⊥38V，頻率：50⊥1Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品揚州熱風循環工業烤箱商家半導體無塵烤箱MOL-2DS。
以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩側銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結構方式。2、升降導向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導向輪采用度尼龍輪，強度好耐磨性優。4、軸承采用國家質量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運行平穩。6、升降動力齒輪減速馬達驅動。7、輸送線結構同滾筒線輸送線結構。升降裝置樣式參考下圖
HMDS預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。蘇州自動化隧道爐（標準）。
尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業批號、作業人員工號、作業開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口VC均熱板輸送氣氛燒結爐。常熟智能工業烤箱服務
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真空烘箱規格書一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實物3.控制器：位于機臺右側4.門：由左邊往右邊開5.內膽材質：質量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質：采用質量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節能省電，環保無污染8.爐門保溫材質：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9.分層：分3層，3個不銹鋼烤盤10.門口裝不銹鋼方鋼框20T*W30吳江區重型工業烤箱
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