一、設備名稱：86寸老化烤箱二、設備型號：TSP202012ZA006-2三、設備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，比較大溫度60度。六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，鹽城半導體工業烤箱電話，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示，鹽城半導體工業烤箱電話，鹽城半導體工業烤箱電話。7.2設備組成：TSP202012ZA00686寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設備參數9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）步入式精密送風循環烤箱。鹽城半導體工業烤箱電話
一、設計依據：烘烤線設計說明：1.工件烘烤（1）爐體採用天然氣燃燒後進行加熱，爐體尺寸以托盤的工件尺寸規劃（2）爐體採用輥筒輸送，爐體加熱段設計連續烘烤。（3）爐體加熱段採用150°C，2.輸送爐輸送方式為載重型雙鏈滾筒輸送，滾筒表面鍍鋅處理。3.爐內滾筒輸送線總長：37米；動力分為6段，每段長度大約6.1左右。（動力分段以后續實際設計為準）4.傳動採用步進式驅動：電機配合減速機一體式；5.烤爐側板為巖棉板，價格低，施工快，120K,t=150mm，溫度為150度，熱風迴圈方式.5.加熱方式為燃氣燃燒機加熱。（日本正英公司是燃燒技術領域的企業之一，主要產品包括燃氣、燃油及雙燃料燃燒器及相關附件，功率范圍為12至17500千瓦。）二、設計目標：本步進式砂芯烘烤爐主要承擔工件的烘乾等工序作業，整個設備設計成熟在原先樣機的基礎上會做的更好，在有限的場地，能滿足客戶對於產能、溫度、時間的要求，同時工人操作條件安全良好，建成後可達到同期國內同類產品的先進水準。宿遷工業工業烤箱生產廠家高溫中溫低溫箱式氣氛爐。
尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業批號、作業人員工號、作業開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口
八.選材要求:選材品牌參照招標文件中品牌要求和投標文件中主要外購件清單序號名稱類別制造商序號名稱類別制造商1變頻器臺達/三菱18訊響器中國臺灣2接觸器及熱保護開關施耐德19線材無錫南亞電纜3空氣開關正泰/德力西20觸摸屏威綸/三菱4光電開關OMRON/同等品牌21驅動電機及減速器歐邦/同等品牌5繼電器及座OMRON22鏈條環球/匯利興6微動開關OMRON23止擋器亞德客/同等品牌7行程開關OMRON24氣動組件亞德客/同等品牌8可編程控制器三菱/OMRON25電磁閥亞德客/同等品牌9可編程控制器擴展三菱/OMRON26氣缸亞德客/同等品牌10馬達開關正泰/德力西27吸盤SMC/同等品牌11斷路器正泰/德力西28電源插座飛雕12漏電保護附件OMRON29饋電子國產質量13按鈕開關天逸30主線鋁型材國產質量電泳處理14轉換開關天逸3115急停開關天逸3216指示燈天逸3317直流電源明緯34預熱爐烘干爐固化爐熱處理爐。
1)外殼SUS304不銹鋼材質，內膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內膽外壁，上下左右四面加熱，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境使用。2)箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。無氧化烤箱QMO-8WS(雙門雙控）。連云港半導體工業烤箱費用
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五、電源裝置1.電壓：AC380V，3相5線，50Hz2.功率：10KW/15A3.電源引線：由客戶自備六、安全保護系統1.空氣開關（防止過流和短路）2.真空泵電機過流保護（保護真空泵電機電流過高）3.超溫保護（防止工作室溫度過高，保護產品），聲光報警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380⊥38V，頻率：50⊥1Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品鹽城半導體工業烤箱電話
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