真空烘箱規格書一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實物3.控制器：位于機臺右側4.門：由左邊往右邊開5.內膽材質：質量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質：采用質量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節能省電，姑蘇區省電工業烤箱，環保無污染8.爐門保溫材質：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9，姑蘇區省電工業烤箱.分層：分3層，姑蘇區省電工業烤箱，3個不銹鋼烤盤10.門口裝不銹鋼方鋼框20T*W30網鏈式還原氣氛隧道爐。姑蘇區省電工業烤箱
設備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量*，可*進入腔體的藥液量；氣體流量計（進口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸到PLC.2、可實現自動調檔（拋檔內容如上次郵件）、自動上、下機，配置霍尼韋爾條碼(可根據客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設定上限，保護被試品和試驗箱體）l電機過負荷熱繼電器（設定上限，保護電機過負荷）l逆向防止器（確保電機轉動方向正確）l動力電流保護器（設定上限，保護電路設備安全）四、附屬部品（交機時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現場性能確認基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環境影響，少5個小時。l確認在無負荷無試樣情況下進行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。張家港恒溫工業烤箱費用步入式精密送風循環烤箱。
一、設備簡介：1.設備用途：本設備為連續式表面烘干生產線，用于產品制程后的烘干。2.干燥后的產品具有均勻一致的數據要求.3.設計、制造、安裝調試的技術標準和相關標準：產品在設計、制造、安裝調試驗收過程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時間做出的性能.總功率：3P380V12KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進料高度：120MM爐內高度：320MM循環風機：2臺1/2HP二、設備詳細需求：1.產品尺寸：用于將高密度聚乙烯片材（寬1.2m*厚1.2mm）運行時預加熱，片材溫度升高10-20℃左右2.設備內尺寸：W1400*D1500*H1203.設備外尺寸：W1600*D1500*420
干燥箱DTS-450規格書一、箱體結構尺寸1.內尺寸（W*D*H）mm：450*450*450.外尺寸（W*D*H）mm：約810*720*11203.控制箱：位于機臺底部，方便操作，維修方便4.門、門扣：單門5.內膽材質：質量不銹鋼板6.外箱材質：鋼板粉體靜電烤漆（米白色）涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質：采用質量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節能省電，環保無污染8.爐門保溫材質：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩，節能效果佳9.分層：吊桿2支圓型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。
HMDS預處理系統的原理：HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。電熱鼓風烤箱雙開式臺車烤箱。鹽城高溫工業烤箱出售
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以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩側銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續設計為準。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結構方式。2、升降導向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導向輪采用度尼龍輪，強度好耐磨性優。4、軸承采用國家質量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運行平穩。6、升降動力齒輪減速馬達驅動。7、輸送線結構同滾筒線輸送線結構。升降裝置樣式參考下圖姑蘇區省電工業烤箱
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