二、性能指標注解：周圍溫度為+5~+35℃時，在無試驗負荷情況下穩定1小時后測定的性能。另外，關于溫度上升及下降時間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時的性能。1，泰州重型工業烤箱維保.溫度性能指標試驗目的□品質檢驗□產品開發□生產應用□可靠性試驗（保存，泰州重型工業烤箱維保，泰州重型工業烤箱維保、老化）□其它：本試驗箱技術指標溫度范圍RT~+250℃溫度波動度：≤0.5℃單點控制(PT100型傳感器，一個，測量位置為內膽外壁，通過內部PID參數調整，使內部溫度和實測溫度一致)溫度上升時間RT~200℃60分鐘以內(空載時)主要參數：內部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個，6寸可放置4個）4寸晶圓框架盒的參數：材質：PFA材質（需客戶提供實際使用晶圓框架盒）尺寸：132*127*108mm6寸晶圓框架盒的參數：材質：PFA材質（需客戶提供實際使用晶圓框架盒）尺寸：143*179*171mm高溫中溫低溫箱式氣氛爐。泰州重型工業烤箱維保
HMDS預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成*條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。鎮江半導體工業烤箱維修熱處理高溫熱風循環烤箱。
一、設備名稱：86寸老化烤箱二、設備型號：TSP202012ZA006-2三、設備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內，溫控的控制精度正負5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，比較大溫度60度。六、設備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設備組成：TSP202012ZA00686寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設備參數9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）
首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。精密熱風千級烤箱SMO-3。
安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業人員到需方現場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日推板式氣氛燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。常州無塵工業烤箱維保
升降式垂直熱風循環隧道爐。泰州重型工業烤箱維保
耗能：1.燃燒機用燃氣比較大24立方每小時，保溫燃氣在30~50%。約7.2立方到12立方每小時。2.設備電力功耗：比較大15KW/H.3.壓縮空氣消耗量：0.1立方米/H一、設備詳細需求：1.產品尺寸：比較高480mm2.控制功能：按原有控制實現功能二、尺寸：內部尺寸W1200*L14500*H500mm外部尺寸W2000*L18000*H2017mm（約）二.溫度范圍:1.最高溫度：250℃2.使用溫度：200℃三．機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.（溫度分布均勻度:250℃±10℃.(空爐測量恒溫段有效區域內為準)四.機械板金結構：1.內部材質：SUS4301.0t不銹鋼板.2.外部材質:SS41+粉體烤漆。3.保溫材質:高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設有排氣系統，及時將爐內廢氣排出爐外，可調節大小。5.定制耐熱氣動元器件。泰州重型工業烤箱維保
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