氦質譜檢漏儀安裝時要遠離煙塵、注意防潮、定期清潔除塵、定期檢查是否靈敏，避免失靈等等。氦質譜檢漏儀中都有檢測器，一般檢測的壽命越長越好，一般來說氦質譜檢漏儀的平均壽命在2-5年，無錫真空氦氣檢測機，無錫真空氦氣檢測機，抗干擾，誤差越小越好。要定期進行濾紙更換，在傳感器規定時間內使用，不同的傳感器之間可能會有干擾要注意還要注意電磁的干擾，無錫真空氦氣檢測機。防止元件的老化，及時更換零件。測定漏率型主要是針對密封性要求嚴格的部件進行檢測，如宇宙飛船、火箭液體燃料儲料箱、衛星、電子元器件等。氦質譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。無錫真空氦氣檢測機
氦質譜檢漏儀的保養注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。分體式氦檢設備廠家氦質譜檢漏儀的保養項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。
氦質譜檢漏儀換燈絲步驟：當冷規指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關冷規，關抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內有短路，應取下排除。將閥開關由“前置”轉向“粗抽”(注意：閥開關在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節流閥，等真空抽上后，關閉節流閥，將“粗抽”轉向“前置”，開抽速閥，開冷規，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調氦峰。
氦質譜檢漏儀的日常維護：1.定期檢查機械泵的油位，如不足足應及時添加；如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經惡化了。此時，應釋放泵中的油，必要時，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦質譜檢漏儀的質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養維護。
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局。無錫真空氦氣檢測機
氦質譜檢漏儀能夠實現雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。無錫真空氦氣檢測機
氦質譜檢漏儀的的故障和處理：1、內部的泄漏，當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩定，1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，氦質譜檢漏儀應有可靠的接地。無錫真空氦氣檢測機
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