氦質譜檢漏儀檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，江蘇真空氦檢儀，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差，江蘇真空氦檢儀。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。敏度、反應時間，江蘇真空氦檢儀、消除時間、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。江蘇真空氦檢儀

選擇氦質譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標準漏孔每年送有專業資質計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標準漏孔。江蘇真空氦檢儀氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計。

氦質譜檢漏儀原理：氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等先進方向發展。

氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

氦質譜檢漏儀安裝時要遠離煙塵、注意防潮、定期清潔除塵、定期檢查是否靈敏，避免失靈等等。氦質譜檢漏儀中都有檢測器，一般檢測的壽命越長越好，一般來說氦質譜檢漏儀的平均壽命在2-5年，抗干擾，誤差越小越好。要定期進行濾紙更換，在傳感器規定時間內使用，不同的傳感器之間可能會有干擾要注意還要注意電磁的干擾。防止元件的老化，及時更換零件。測定漏率型主要是針對密封性要求嚴格的部件進行檢測，如宇宙飛船、火箭液體燃料儲料箱、衛星、電子元器件等。氦質譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。江蘇真空氦檢儀

所謂“動態檢漏”是指氦質譜檢漏儀本身的抽氣系統仍在正常抽氣。江蘇真空氦檢儀

氦質譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應經常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節流閥”關閉，才能取工件。5、對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除Zda的漏點后，再對其它地方檢漏。6、裝工件時應使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度，但應避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體，應避免泄漏浪費。氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。江蘇真空氦檢儀

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